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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0605381 (2000-06-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 62 인용 특허 : 27 |
A nonlinear model-based predictive temperature control system is described for use in thermal process reactors. A multivariable temperature response is predicted using a nonlinear parameterized model of a thermal process reactor. The nonlinear parameterized model is implemented using a neural networ
1. A temperature-controlled thermal process system, comprising:a softsensor model for generating an estimated wafer temperature from one or more previous susceptor setpoint temperatures, said softsensor model comprising one or more inputs configured to receive said one or more previous susceptor set
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