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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0385942 (1999-08-30) |
우선권정보 | DE-0039385 (1998-08-28) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 4 |
A process and a device are provided for for thinning phosphine with air without a danger of burning. The process is carried out in this way that the mixing of phosphine and air is carried out under water or in the presence of water. The device consisting of a water-container which carries at least o
1. A process for the direct thinning of phosphine with air up to a phosphine-concentration of 1.8% maximum wherein the mixing of the gases is carried out under water.
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