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특허 상세정보

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Antireflection film and optical element coated with the antireflection film

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F21V-009/04   
미국특허분류(USC) 359/359; 359/588; 359/589
출원번호 US-0654040 (2000-09-01)
우선권정보 JP-0248156 (1999-09-02)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 2
초록
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The antireflection film of the present invention comprises an alternately multi-layered film of 10 layers formed on a base member and having antireflection characteristics in two wavelength regions including a first wavelength (.lambda.1) of 248 nm and a second wavelength (.lambda.2) of 633 nm as central wavelengths, respectively, the multi-layered film of 10 layers comprising: low-refractive index layers arranged at odd-numbered positions from a side opposite to the base member and having a refractive index of 1.45 to 1.52 at the first wavelength (.lamb...

대표
청구항
▼

1. An antireflection film comprising an alternately multi-layered film of 10 layers formed on a base member and having antireflection characteristics in two wavelength regions including a first wavelength (.lambda.1) of 248 nm and a second wavelength (.lambda.2) of 633 nm as central wavelengths, respectively, the multi-layered film of 10 layers comprising: low-refractive index layers arranged at odd-numbered positions from a side opposite side to the base member and having a refractive index of 1.45 to 1.52 at the first wavelength (.lambda.1); and high-...

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Otani Minoru,JPX ; Ando Kenji,JPX ; Suzuki Yasuyuki,JPX ; Biro Ryuji,JPX ; Kanazawa Hidehiro,JPX. Anti-reflection film and optical system using the same. USP1999035885712.
  2. Biro Ryuji (Kawasaki JPX) Ando Kenji (Kawasaki JPX) Suzuki Yasuyuki (Yokohama JPX). Antireflection film and exposure apparatus using the same. USP1997085661596.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 6

  1. Paul, Hans-Jochen; Heller, Matthias. Antireflection coating for ultraviolet light. USP2004116825976.
  2. Kanazawa, Hidehiro; Ando, Kenji; Teranishi, Koji. Antireflection film and optical element having the same. USP2005096947209.
  3. Kanazawa,Hidehiro; Ando,Kenji; Teranishi,Koji. Antireflection film and optical element having the same. USP2006047035000.
  4. Eisenkr채mer,Frank. Inspection microscope for several wavelength ranges and reflection reducing layer for an inspection microscope for several wavelength ranges. USP2007097274505.
  5. Kanazawa,Hidehiro; Ando,Kenji; Teranishi,Koji. Optical element with antireflection film. USP2006107116473.
  6. Andressen, Clarence C.; Anderson, Robert C.. Transparent silicon detector and multimode seeker using the detector. USP2012098274027.

IPC 상위 출원인