[특허]Method and apparatus for detecting leakage in a flow control valve

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Method and apparatus for detecting leakage in a flow control valve 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01M-003/00 G01M-003/28 F16K-005/02 F16K-013/04
출원번호	US-0507017 (2000-02-22)
발명자 / 주소	Hung-Ju Chien TW Chin-Chung Lee TW
출원인 / 주소	Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd TW
대리인 / 주소	Tung & Associates
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 11

초록 ▼

A method for detecting leakage in a bellow-type flow control valve and an apparatus for use in such detection are described. In the method, a leakage detection device can be connected in line and in fluid communication between a shut-off valve and a bellow-type flow control valve. The leakage detection device includes a mass flow controller and a recording means for detecting any possible leakage of a facility gas that is used to open or close the bellow-type flow control valve into a process gas conduit through a defective bellow. The apparatus may be advantageously equipped with quick disconnect fittings such that it can be used for checking a large number of bellow-type flow control valves that are normally used on a semiconductor fabrication apparatus.

대표청구항 ▼

1. A method for detecting leakage in a flow control valve comprising the steps of:connecting a shut-off valve between a facility gas source and a first end of a fluid conduit; connecting a second end of said fluid conduit to a facility gas inlet on said flow control valve; providing a leakage detection apparatus in said fluid conduit in fluid communication with said first end and said second end of the conduit; said leakage detection apparatus comprising: a mass flow controller for detecting a fluid flow through said conduit; and a recording means for recording said fluid flow through said conduit, flowing a facility gas flow from said facility gas source into said flow control valve for opening said flow control valve said facility gas inlet on to allow a process gas to pass therethrough; shutting-of said facility gas flow by said shut-off valve to stop said process gas from passing therethrough; and detecting any residual facility gas flow through said flow control valve into said process gas by said leakage detection apparatus.

이 특허에 인용된 특허 (11)

Tanaka Yasuo,JPX ; Ochiai Masami,JPX ; Yagyu Takashi,JPX ; Hashimoto Akira,JPX ; Furuno Yoshinori,JPX ; Watanabe Yutaka,JPX ; Sugiyama Yukihiko,JPX, Apparatus for diagnosing failure of hydraulic pump for work machine.
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Kennedy Garth P. (Oklahoma City OK) Kennedy ; Jr. William A. (Oklahoma City OK) Kennedy Neal R. (Oklahoma City OK) Elder John W. (Tulsa OK), Excess flow shutoff valve for hazardous fluids.
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Tsan Su-Li (No. 8 ; Alley 5 ; Lane 493 ; Chung Ho Street ; Peitou District Taipei TWX), Gas regulator with leakage-detecting device.
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Kozuka Kazuhiro (Aichi JPX) Ozasa Toshihiro (Aichi JPX) Takahashi Hideaki (Aichi JPX) Kondo Haruyoshi (Aichi JPX), Gas sampling valve.
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Anderson David Charles, In-line valve seat leak flow testing apparatus.
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Boone George R. (Spring Valley OH) Weitz Max E. (Beavercreek OH), Leak detection system.
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Jimison Walter L. (Palo Alto CA) Barker Craig S. (San Carlos CA) Bunyard Marc R. (Milipitas CA), Method and apparatus to test for valve leakage in a pump assembly.
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Basham D. Scott (Tempe AZ) Delajoud Pierre R. (Neuilly sur Seine AZ FRX) Girard Martin J. (Phoenix AZ), Pressure regulating system for positive shut-off pressure controller.
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Gonsior Wolfgang (Lindau-Bodolz DEX), Shutoff and regulating valve.
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Major William Robert ; Karr Leslie Ann ; Warren George Edward ; Norbutas John Anthony ; Dellalibera Frank ; Mack Kit Leroy, System for leak detection from underground and aboveground fuel storage tanks.
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Wood Gary R. (Lemon Grove Spring TX) Hutchinson Carl P. (El Campo TX), Test method and apparatus for BOP equipment.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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