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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | H01L-023/04 |
미국특허분류(USC) | 257/730; 257/708; 257/710 |
출원번호 | US-0540072 (2000-03-31) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 3 |
An apparatus on a wafer, comprising; a first metal layer of a wall, a second metal layer of the wall, a third metal layer of the wall comprising; one or more base frames, a fourth metal layer of the wall comprising; one or more vertical frame pairs each on top of the one or more base frames and having a pass-thru therein, a fifth metal layer of the wall comprising; one or more top frames each over the pass-thru; and a metal lid.
1. An apparatus on a wafer, comprising:a first metal layer of a wall; a second metal layer of the wall; a third metal layer of the wall comprising: one or more base frames; a fourth metal layer of the wall comprising: one or more vertical frame pairs each on top of the one or more base frames and having a pass-thru therein; a fifth metal layer of the wall comprising: one or more top frames each over the pass-thru; and a metal lid.