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Semiconductor wafer review system and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06F-007/00
출원번호 US-0195300 (1998-11-18)
발명자 / 주소
  • Edward E. Ehrichs
  • Chris Wooten
출원인 / 주소
  • Advanced Micro Devices, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 17

초록 ▼

A semiconductor wafer review system and method. A method and system for front and back side review of semiconductor wafers is provided in various embodiments. Inspection data for the front side is used to position the wafer for front side review, and a wafer inverter is provided to flip the wafer fo

대표청구항 ▼

1. A method for review of a semiconductor wafer having a front side and a back side, the method comprising:positioning the wafer in response to front side wafer inspection data; after positioning the wafer, reviewing the front side of the wafer; inverting the wafer and exposing a back side of the wa

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Prentakis Antonios E. (Cambridge MA), Apparatus and method for loading and unloading wafers.
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  2. Schram Richard R. (11435 Tampa Ave. ; #94 Northridge CA 91326), Automated wafer inspection system.
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  3. Gaylord Eric Lee ; Taylor James Stuart, Device for transferring a semiconductor wafer.
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  4. Meisberger Dan (San Jose CA) Brodie Alan D. (Palo Alto CA) Desai Anil A. (San Jose CA) Emge Dennis G. (San Jose CA) Chen Zhong-Wei (Palo Alto CA) Simmons Richard (Los Altos CA) Smith Dave E. A. (San , Electron beam inspection system and method.
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  5. Aoyama Masaaki (Kanagawa JPX) Kimura Keiichi (Kanagawa JPX), Holding apparatus for holding an article such as a semiconductor wafer.
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  6. Scott Daniel H. (Northridge CA), Inspection systems having rotating motion.
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  7. Worster Bruce W. ; Crane Dale E. ; Hansen Hans J. ; Fairley Christopher R. ; Lee Ken K., Laser imaging system for inspection and analysis of sub-micron particles.
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  8. Sandland Paul (Gilroy CA) Chadwick Curt H. (Los Altos CA) Singleton Russell M. (Sunnyvale CA) Dwyer Howard (Mountain View CA), Method and apparatus for automatic wafer inspection.
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  9. Farnworth Warren M. ; Wood Alan G. ; Jacobson John O. ; Hembree David R. ; Wark James M. ; Folaron Jennifer L. ; Folaron Robert J. ; Nelson Jay C. ; Warren Lelan D., Method and apparatus for automatically positioning electronic dice within component packages.
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  10. Esrig Paul (Saratoga CA) Hansotte Eric James (Sunnyvale CA), Method and apparatus for detecting non-uniformities in reflective surafaces.
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  11. Worster Bruce W. ; Lee Ken K., Method for characterizing defects on semiconductor wafers.
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  12. Brown John ; Costello Matthew J. ; DosSantos Luciano P. ; Ruck Robin, Probe station adapter for backside emission inspection.
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  13. Wiesler Mordechai (Lexington MA) Weiss Mitchell (Haverford PA), Straight line wafer transfer system.
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  14. Ishii Tatsuya (Itami JPX) Miyamoto Kazutoshi (Itami JPX), Test analysis apparatus and analysis method for semiconductor wafer using OBIC analysis.
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  15. Tracy Bryan Mitchell ; Wollesen Donald L., Use of fiducial marks for improved blank wafer defect review.
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  16. Akagawa Masayuki (Kawaguchi JPX), Wafer inspecting apparatus.
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  17. Karasikov Nir (Haifa ILX) Ilssar Yoel (Haifa ILX), Wafer inspection system.
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이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Gui,Cheng Qun; Van Buel,Henricus Wilhelmus Maria; Van Der Schaar,Maurits; Den Boef,Arie Jeffrey, Lithographic apparatus.
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  2. Gui,Cheng Qun; Van Buel,Henricus; Van Der Schaar,Maurits; Den Boef,Arie, Lithographic apparatus.
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  3. Van Buel,Henricus Wilhelmus Maria; Best,Keith Frank; Consolini,Joseph J.; Lof,Joeri; Shafer,Edwin Ross, Lithographic apparatus.
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  4. Ohminami, Nobuyuki; Tanaka, Masaru; Umemoto, Takeshi, Manufacturing inspection/analysis system analyzing device, analyzing device control program, storage medium storing analyzing device control program, and method for manufacturing inspection and analysis.
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  5. Haller, Kurt; Lopez, Susan S., Methods for correlating backside and frontside defects detected on a specimen and classification of backside defects.
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  6. Kinney, Patrick D.; Gupta, Anand; Rao, Nagaraja P., Optical method and apparatus for inspecting large area planar objects.
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  7. Lewis, Isabella T.; Bobrov, Yakov, Systems and methods for sample inspection and review.
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