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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0761132 (2001-01-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 18 |
This invention provides a measurement device that includes both an X-ray reflectometer and a thermal or plasma wave measurement module for determining the characteristics of a sample. Preferably, these two measurement modules are combined into a unitary apparatus and arranged to be able to take meas
1. A unitary apparatus for evaluating a sample comprising:(a) a first measurement module including: (i) means for inducing a periodic localized excitation at the surface of the sample; (ii) means for directing a first probe beam of radiation within a portion of the area periodically excited in a man
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