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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0666241 (2000-09-21) |
우선권정보 | JP-0267136 (1999-09-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 57 인용 특허 : 1 |
An ingot is made from a used target of 30 weight % or more, and new metals of the same components, and recycled alloy powder is made by a gas atomizing process. Magnetic permeability is controlled not to exceed 2 by adjusting the content of rare earth metals in rare earth alloy powder to be at least
1. A method for manufacturing a sputtering target, the method comprising:presenting an alloy powder which contains at least 65 weight percent of at least one rare earth alloy powder, wherein the at least one rare earth alloy powder comprises at least one rare earth element, at least two elements sel
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