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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0336353 (1999-06-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 29 인용 특허 : 9 |
A wafer cluster tool comprising a series of processes has a scheduler which synchronizes all events in the system. Events in the cluster tool are scheduled to occur at regular, periodic intervals, thereby improving throughput and quality. The scheduler also eliminates conflicts for transportation re
1. A method of optimizing throughput and performance in a wafer processing system, wherein the wafer processing system includes a plurality of modules for processing individual wafers in a sequence wafers, and the wafer processing system includes a plurality of transportation resources for transport
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