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Opening and closing apparatus of an opening and closing lid of a box accommodating an object to be processed and a processing system of an object to be processed 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F27D-001/18
출원번호 US-0640908 (2000-08-18)
우선권정보 JP-0201000 (1999-07-14)
발명자 / 주소
  • Kazunari Sakata JP
  • Tamotsu Tanifuji JP
  • Masahiro Ogawa JP
대리인 / 주소
    Pillsbury Winthrop LLP
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 7

초록

An opening and closing apparatus (52, 54) opens and closes an opening and closing lid (10) which closes an opening part (4) of an accommodating box (2) for accommodating an object (W) to be processed and is locked by a locking mechanism (12). A key member (26) is mounted to a base table (90) via a b

대표청구항

1. An opening and closing apparatus (52) for opening and closing an opening and closing lid (10) which closes an opening part (4) of an accommodating box (2) for accommodating an object (W) to be processed and is locked by a locking mechanism (12),characterized in that the opening and closing appara

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Woo Jae-young,KRX ; Choi Woo-yeul,KRX, Apparatus for opening/closing a process chamber door of ovens used for manufacturing semiconductor devices.
  2. Brown Dix (Boise ID) Lee Nathan P. (Boise ID) Hofer Willard L. (Boise ID), Atmospheric furnace door counterbalance.
  3. Thompson Michael S. (North Richland Hills TX) Hubbard Steven R. (Decatur TX) Jackson Franklin D. (Decatur TX), Cage boat having removable slats.
  4. Masujima Sho,JPX ; Miyauchi Eisaku,JPX ; Miyajima Toshihiko,JPX ; Watanabe Hideaki,JPX, Clean transfer method and apparatus therefor.
  5. Barkley James D. (Bethlehem PA), Closure assembly for a furnace.
  6. Sachs Emanual M. (Watertown MA) Mackintosh Brian H. (Lexington MA), Crystal growth furnace with trap doors.
  7. Muka Richard S., Vacuum integrated SMIF system.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Okabe, Tsutomu, Apparatus and method for opening/closing lid of closed container, gas replacement apparatus using same, and load port apparatus.
  2. Miyajima, Toshihiko; Ishiyama, Shigeki, Clean device with clean box-opening/closing device.
  3. Oyama, Katsuhiko; Takeuchi, Yasushi, Cover opening/closing apparatus, thermal processing apparatus using the same, and cover opening/closing method.
  4. Thomas, Jr., Robert L.; Thomas, Veda Nan, Decorative paper plate storage units.
  5. Gupta, Nitu; Rieke, Larry D.; Foxworthy, Edward, Furnace door latch assembly.
  6. Mochizuki,Shinya; Akimoto,Motoki, Heat treatment system and a method for cooling a loading chamber.
  7. Sakata,Kazunari; Hasegawa,Koyu; Katabuchi,Keiichi; Watanabe,Shingo; Mochizuki,Shinya; Akimoto,Motoki; Motono,Hiroshi, Heat treatment system and a method for cooling a loading chamber.
  8. Sakata, Kazunari; Mochizuki, Shinya; Akimoto, Motoki; Motono, Hiroshi, Heat treatment system and method therefore.
  9. Matsutori, Chiaki; Obayashi, Tadahiro, Lid attaching mechanism with camming unit for thin-plate supporting container.
  10. Kuratsu, Noriyuki, Lid opening/closing device.
  11. Kuratsu, Noriyuki, Lid opening/closing device.
  12. Hyobu, Yukihiro; Matsutori, Chiaki; Obayashi, Tadahiro, Lid unit for thin-plate holding container, thin-plate holding container, and simplified attaching/detaching mechanism.
  13. Mochizuki, Shinya; Akimoto, Motoki, Method of object transfer for a heat treatment system.
  14. Nakatogawa, Takuji; Furutani, Atushi, Opening/closing structure for container for conveying thin plate.
  15. Fu, Chung-Yang; Lee, Wei-Chen, Receiving method.
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