[특허]Endpoint detection by chemical reaction

Endpoint detection by chemical reaction 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23F-001/02
출원번호	US-0678633 (2000-10-03)
발명자 / 주소	Leping Li James Albert Gilhooly Clifford Owen Morgan, III Cong Wei Chienfan Yu
출원인 / 주소	International Business Machines Corporation
대리인 / 주소	Jay H. Anderson
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 28

초록 ▼

Detection of the endpoint for removal of a target film overlying a stopping film by removing the target film with a process that selectively generates a chemical reaction product (for example, ammonia when polishing a wafer with a nitride film in a slurry containing KOH) with either the target or stopping film, and monitoring the level of chemical reaction product as the target film is removed. The reaction product is extracted as a gas from the slurry and monitored using a threshold photoionization mass spectrometer.

대표청구항 ▼

1. An apparatus for detecting the endpoint for removal of a target film overlying a stopping film by a process that generates a chemical reaction product with the stopping film, comprising:a monitor for monitoring the level of chemical reaction product as the target film is removed, wherein the process is chemical-mechanical polishing using a polishing slurry, the reaction product is contained in the polishing slurry, and the monitor comprises a threshold photoionization mass spectrometer; and an extractor for extracting the chemical reaction product as a gas from the slurry.

이 특허에 인용된 특허 (28)

Kolbe William F. (Oakland CA) Leskovar Branko (Moraga CA), 140 GHz pulsed fourier transform microwave spectrometer.
상세보기
Yu Chris C. (Austin TX) Yu Tat-Kwan (Austin TX) Klein Jeffrey L. (Austin TX), Acoustically regulated polishing process.
상세보기
Nacson Sabatino (Willowdale CAX), Apparatus for rapid and specific detection of organic vapors.
상세보기
Fletcher ; III Kenneth S. (Norfolk MA) Earle William E. (North Easton MA) Weiner Jay M. (Foxboro MA), Automatic process titration system.
상세보기
Peretti Steven William ; Thomas Stuart Marc ; Shepherd ; Jr. Robert Donald, Bioreactor process for the continuous removal of organic compounds from a vapor phase process stream.
상세보기
Campbell Larry E. (Knoxville TN), Catalyst for the production of nitric acid by oxidation of ammonia.
상세보기
Ohmi Tadahiro,JPX ; Fujiki Man,JPX ; Takada Joichi,JPX, Chemical mechanical polishing apparatus.
상세보기
Meikle Scott (Boise ID) Doan Trung T. (Boise ID), Chemical-mechanical polishing techniques and methods of end point detection in chemical-mechanical polishing processes.
상세보기
Sakurai Naoaki,JPX ; Nishigaki Hisashi,JPX ; Hayamizu Naoya,JPX ; Fujita Hiroshi,JPX, Cleaning method.
상세보기
Cain John L. (Schertz TX), Dual mode plasma etching system and method of plasma endpoint detection.
상세보기
Khn Uwe (Wesenberg DEX) Roocks Christiane (Bad Schwartau DEX) Kiesele Herbert (Lbeck DEX), Electrochemical measuring cell for amperometrically determining ammonia and derivatives thereof.
상세보기
Hobbs Bryan S. (Chertsey GBX) Chan Yat S. (London GBX), Gas sensor.
상세보기
Shindo Mizuo (Ootake JPX) Yamamoto Takashi (Ootake JPX) Kamada Kensuke (Chiba JPX), Gas transfer process with hollow fiber membrane.
상세보기
Li Leping (Poughkeepsie NY) Barbee Steven G. (Dover Plains NY) Halperin Arnold (Cortlandt Manor NY) Heinz Tony F. (Chappaqua NY), In-situ monitoring of the change in thickness of films.
상세보기
Greco Nancy A. (Lagrangeville NY) Nogay Joseph P. (Newburgh NY), Laser ablation for plasma etching endpoint detection.
상세보기
Sandhu Gurtej S., Method and apparatus for endpointing mechanical and chemical-mechanical polishing of substrates.
상세보기
Baykut Goekhan (Bremen DEX), Method and apparatus for extracting dissolved, volatile substances from liquids into the vapor phase.
상세보기
Yu Chris C. ; Hanson Jeffrey F. ; Klein Jeffrey L., Method for chemical mechanical polishing a semiconductor device using slurry.
상세보기
Kim Bang M. (Schenectady NY), Method for continuous separation of dissolved materials.
상세보기
Hewig Gerd (Kastanienweg 15a D-8755 Alzenau DEX) Schum Berthold (Bornweg 44 D-6465 Biebergemnd DEX) Wrner Jrg (Philipp-Reis-Strasse 16 D-6451 Grosskrotzenburg DEX), Method for executing a reproducible glow discharge.
상세보기
Vayenas Costas G. (Wellesley Hills MA) Teague Catherine E. (Cambridge MA), Method for forming nitric oxide from ammonia.
상세보기
Gibson Colin (2 Agincourt Road ; Penylan Cardiff ; CF2 5BN GBX) Matthews Ian P. (1 ; Linden Avenue ; Penylan Cardiff ; CF2 5HG GBX) Samuel Alan H. (22 Foreland Road ; Whitchurch Cardiff ; CF4 7AR GBX, Microwave spectrometers.
상세보기
Chen Lee (Poughkeepsie NY) Khoury Henri A. (Yorktown Heights NY) Seymour Harlan R. (Morton Grove IL), Optical emission spectroscopy end point detection in plasma etching.
상세보기
Chi Sheng-Ming B. (Pittsburgh PA) Oder Robin R. (Export PA), Particulate separations by electrostatic coalescence.
상세보기
Matson Stephen L. (Harvard MA) Stanley Thomas J. (Schnectady NY), Phase transfer catalysis.
상세보기
Suenram Richard D. ; Lovas Francis J. ; Grabow Jens U.,DEX ; Harmony Marlin D. ; Leonov Igor,RUX ; Zuban Andre,RUX, Portable fourier transform microwave spectrometer with cryogenic receiver for trace gas analysis.
상세보기
Hoffman Joe G. ; Clark R. Scot ; Jones ; Jr. Allen H., System and method for on-site mixing of ultra-high-purity chemicals for semiconductor processing.
상세보기
Dimitrelis Dimitrios (Palo Alto CA) Gabriel Calvin T. (Cupertino CA) Dunton Samuel V. (San Jose CA), System and method for plasma etching endpoint detection.
상세보기

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

Endpoint detection by chemical reaction 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (28)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

Endpoint detection by chemical reaction 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

이 특허에 인용된 특허 (28)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트