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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0730578 (2000-12-07) |
우선권정보 | JP-0182921 (1995-07-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 25 |
A vacuum processing apparatus is composed of a cassette block and a vacuum processing block. The cassette block has a cassette table for mounting a plurality of cassettes containing a sample and an atmospheric transfer means. The vacuum processing block has a plurality of processing chambers for per
1. A method of vacuum processing a sample comprising the steps of:(1) determining a position of said sample in a cassette, said cassette contains at least said sample and a dummy sample; (2) transferring said sample from said position in the cassette onto a sample mounting table in a vacuum processi
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