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Clean box, clean transfer method and apparatus therefor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B23Q-003/00
  • B23P-021/00
  • B65G-049/07
  • B65D-085/00
출원번호 US-0294008 (1999-04-19)
발명자 / 주소
  • Toshihiko Miyajima JP
출원인 / 주소
  • TDK Corporation JP
대리인 / 주소
    Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 10

초록

A clean box has a box body having an aperture in one side surface, an opening/closing lid for hermetically closing the aperture while undergoing vacuum suction to the box body, and a plurality of latches provided on the box body so as to be able to engage the opening/closing lid outside the box body

대표청구항

1. A clean box comprising:a box body having an aperture in a first side surface for any one of transferring an object through said box body and storing an object in said box body; a removably detachable opening/closing lid for hermetically closing said aperture in said first side surface of said box

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Takahashi Tetsuo (Akita JPX) Miyauchi Eisaku (Akita JPX) Miyajima Toshihiko (Saku JPX) Watanabe Hideaki (Akita JPX), Apparatus for clean transfer of objects.
  2. Ono Takatoshi (Nagareyama JPX), Article holding apparatus and its use.
  3. Stock James H. (30805 Old Plank Rd. Wixom MI 48096), Clean box.
  4. Rune Gordon H. (Mundelein IL) Wojtysiak Bruce A. (Grandwood Park IL), Clean box with sliding arms.
  5. Miyajima Toshihiko,JPX, Clean box, clean transfer method and apparatus therefor.
  6. Masujima Sho,JPX ; Miyauchi Eisaku,JPX ; Miyajima Toshihiko,JPX ; Watanabe Hideaki,JPX, Clean transfer method and apparatus therefor.
  7. Takahashi Tetsuo (Akita JPX) Miyauchi Eisaku (Akita JPX) Miyajima Toshihiko (Saku JPX), Clean transfer method and system therefor.
  8. Stocchiero Olimpio (5 Via Kennedy 36050 Montorso Vicentino (VI) ITX), Container lid with sealing device.
  9. Tsutomu Okabe JP; Hiroshi Igarashi JP, Lid latch mechanism for clean box.
  10. Miyajima Toshihiko,JPX, Vacuum clean box, clean transfer method and apparatus therefor.

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu, Clean box, clean transfer method and system.
  2. Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu, Clean box, clean transfer method and system.
  3. Igarashi, Hiroshi; Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu, Closed container and lid opening/closing system therefor.
  4. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko; Igarashi, Hiroshi, Closed container and lid opening/closing system therefor.
  5. Fujii, Toshiaki; Horita, Osamu; Ohyama, Koji; Nakayama, Toshiya; Sakiya, Fumio; Kinpara, Mineo, Container and loader for substrate.
  6. Oyama, Katsuhiko; Takeuchi, Yasushi, Cover opening/closing apparatus, thermal processing apparatus using the same, and cover opening/closing method.
  7. Saeki, Hiroaki; Sasaki, Yoshiaki; Taniyama, Yasushi, Device for attaching target substrate transfer container to semiconductor processing apparatus.
  8. Li,Jia Hao, Flexible production process for fabricating heat pipes.
  9. Ku, Chen-Wei; Lu, Shao-Wei; Chiu, Ming-Long, Front opening unified pod disposed with purgeable supporting module.
  10. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko; Igarashi, Hiroshi, Lid opening/closing system for closed container.
  11. Yoshimura, Takehiko; Nagata, Tatsuhiko; Seki, Masaru; Cho, Yoshinori, Load port.
  12. Funato, Manabu; Natsume, Mitsuo; Ochiai, Mitsutoshi, Load port device.
  13. Seita, Hisaharu, Method for transporting boards, load port apparatus, and board transport system.
  14. Rice, Michael Robert; Hudgens, Jeffrey C., Sealed substrate carriers and systems and methods for transporting substrates.
  15. Igarashi, Hiroshi; Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu, Substrate storage pod and lid opening/closing system for the same.
  16. Estes, Andrew C.; Stobaugh, Kyle A.; Moody, Mark A.; Estes, Jeremy B.; Balaster, Ray W.; Danzy, Kurt R., Vacuum transfer apparatus having load isolation weighing system including a rigid pipe section pivotally mounted to a support frame.
  17. Burns, John; Fuller, Matthew A.; King, Jeffery J.; Forbes, Martin L.; Smith, Mark V., Wafer carrier door.
  18. Ku, Chen-Wei; Lu, Shao-Wei; Chiu, Ming-Long, Wafer container with at least one purgeable supporting module having a long slot.
  19. Chiu, Ming-Long; Hung, Kuo-Chun; Ku, Chen-Wei; Sheng, Jain-Ping; Hou, Yi-Liang, Wafer container with purgeable supporting module.
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