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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0955212 (2001-09-19) |
우선권정보 | JP-0197752 (1998-07-13); JP-0168556 (1999-06-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 14 |
To carry out very clean and low-cost fluid processing on both the front and rear surfaces of an object to be processed without generating rubbing particles and without leakage of fluid. A retention member for the object to be processed 18 that retains the object to be processed 17 and a rear shieldi
1. A fluid processing apparatus of an object to be processed comprising;a retention member for the object to be processed that retains the object to be processed, front and rear shielding plates which shield both the front surface and the rear surface of said object to be processed retained by said
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