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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0921452 (2001-08-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 20 |
A highly reliable and safe, modular automatic refill (bulk delivery) system for ultra-high purity pyrophoric metalorganic chemicals employing: a manifold that insures contamination-free operation; a liquid-level detection system with fail-safe redundancy; and an evacuation system which leaves the sy
1. A chemical refill system which comprises:(a) at least one first liquid chemical reservoir; (b) at least one second liquid chemical reservoir; (c) a means for supplying a carrier gas to said chemical refill system; (d) a conduit means for connecting said means for supplying said carrier gas, said
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