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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0732159 (2000-12-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 37 인용 특허 : 38 |
A load lock chamber includes a chamber body having an aperture to allow a substrate to be transferred into or out of the chamber. The load lock chamber is configurable in several configurations, including a base configuration for providing a transition between two different pressures, a heating conf
1. A method of processing a substrate in a processing chamber, the method comprising:decreasing the volume of the chamber from a first processing volume to a second processing volume; supporting the substrate on a substrate support mechanism within the chamber; changing the pressure in the chamber f
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