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Method and apparatus for inhibiting infiltration of a reactive gas into porous refractory insulation 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-008/06
출원번호 US-0177990 (1998-10-23)
발명자 / 주소
  • James Warren Rudolph
출원인 / 주소
  • Goodrich Corporation
대리인 / 주소
    Brinks Hofer Gilson & Lione
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 22

초록

The invention is relates to CVI/CVD furnace apparatus. More specifically, the invention is directed to methods and apparatus for inhibiting infiltration of reactive gas into insulation for a high temperature CVI/CVD furnace. A method and apparatus is provided that inhibits infiltration of reactant g

대표청구항

1. A method of inhibiting infiltration of a reactive gas into porous refractory thermal insulation during high temperature processing of refractory composites, comprising the step of:sealing porous refractory insulation that may be exposed to a reactive gas during high temperature processing of refr

이 특허에 인용된 특허 (22)

  1. Bessot Jean-Jacques (Arpajon FRX) Bourdon Bernard (Gometz le Chatel FRX), Apparatus for chemically activated deposition in a plasma.
  2. Rudolph James W. (Colorado Springs CO) Purdy Mark J. (Akron OH) Bok Lowell D. (Anna OH), Apparatus for use with CVI/CVD processes.
  3. Shih Hong ; Han Nianci ; Mak Steve S. Y. ; Yin Gerald Zheyao, Boron carbide parts and coatings in a plasma reactor.
  4. Simson Morris (Framingham MA) Fabricius John H. (Westford MA) Browne Ronnie (Derry NH) Waugh Arthur (Winchester MA) Sarkozy Robert F. (Westford MA) Lai Chiu K. S. (Wellesley MA), Cross-flow diffusion furnace.
  5. Penfold Alan S. (Playa del Ray CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Electrode type glow discharge apparatus.
  6. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Electrode type glow discharge apparatus.
  7. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Electrode type glow discharge method and apparatus.
  8. Wellerdieck Klaus (Buchs CHX), Etching or coating method and a plant therefor.
  9. Conroy Michael D. ; Johnson Jay A. ; Cybulski Claude E. ; Cybulski Eric R., Kiln lid mounting assembly.
  10. Watanabe Misuzu (Kawasaki JPX), Method for carbon film production.
  11. Nuutinen Pekka (Kontiolahti FIX), Method of modifying masonry furnace by inserting electric heating elements through furnace top cover.
  12. Harris Robert G. (Montreal CAX), Microwave, a closed vessel and methods of determining volatile material content.
  13. Sarkozy Robert F. (Westford MA), Modular V-CVD diffusion furnace.
  14. Rice Michael (675 Claret Ct. Pleasanton CA 94566) Marks Jeffrey (4730 Cielo Vista San Jose CA 95129) Groechel David W. (27985 Via Ventana Los Altos Hills CA 94022) Bright Nicolas J. (12133 Kirkbrook , Plasma etch apparatus with heated scavenging surfaces.
  15. Suzuki Akira (Nirasaki JPX) Ishizuka Shuichi (Nirasaki JPX) Kawamura Kohei (Yamanashi JPX) Hata Jiro (Yamanashi JPX), Plasma processing apparatus using vertical gas inlets one on top of another.
  16. Poris Jaime (Los Gatos CA), Precision weighing to monitor the thickness and uniformity of deposited or etched thin film.
  17. Rudolph James W. ; Purdy Mark J., Pressure gradient CVI/CVD apparatus process and product.
  18. Rudolph James W. ; Purdy Mark J., Pressure gradient CVI/CVD apparatus, process and product.
  19. Sekiya Isao (Numazu JPX), Rotary barrel type induction vapor-phase growing apparatus.
  20. Dickey Eric R. (Northfield MN) Bjornard Erik J. (Northfield MN), Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems.
  21. Dickey Eric R. ; Bjornard Erik J., Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems.
  22. Paranjpe Ajit P. (Plano TX) Davis Cecil J. (Greenville TX) Matthews Robert T. (Plano TX), Structure and method for incorporating an inductively coupled plasma source in a plasma processing chamber.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Jonnalagadda, Rajanikant; Miller, Brian J., Gas port sealing for CVD/CVI furnace hearth plates.
  2. Jonnalagadda, Rajanikant; Miller, Brian J., Gas port sealing for CVD/CVI furnace hearth plates.
  3. Martin, Roland, Oxidation-protected brake disk and method of making same.
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