$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Method to make gas permeable shell for MEMS devices with controlled porosity 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B31D-003/00
  • B01D-063/00
출원번호 US-0688722 (2000-10-16)
발명자 / 주소
  • Murali Hanabe
  • Risaku Toda
출원인 / 주소
  • Ball Semiconductor, Inc.
대리인 / 주소
    Haynes and Boone, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 14

초록 ▼

A method and system for making a gas permeable shell in a micro electromechanical systems (MEMS) device is disclosed. The MEMS device is created with an internal sacrificial layer. The device is then coated with a slurry composition which, after drying, is later exposed to a solvent. As a result, th

대표청구항 ▼

1. A method for making a gas permeable shell around a small electro/mechanical device, the method comprising the steps of:dissolving a first solid in a solvent to form a solution; mixing the solution with a second solid to form a slurry; coating the electro/mechanical device with the slurry to form

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Comeau Joseph H. (Suffield CT) Kowles Joseph E. (Wethersfield CT) Lareau John P. (Granby CT) Mayo Kenneth R. (Enfield CT) Runde Herbert A. (Windsor Locks CT), Apparatus for remotely indicating angular position.
    상세보기
  2. Pister Kristofer S. J., Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making.
    상세보기
  3. Pomerantz David, Infant monitoring device.
    상세보기
  4. Yahalom Joseph (Haifa ILX) Peckerar Martin (Silver Spring MD), Method for preparation of mask for ion beam lithography.
    상세보기
  5. Matthews Mark D. (Richardson TX) Brown Louanne K. (Garland TX), Method of treating particles.
    상세보기
  6. Lebouitz Kyle S. ; Howe Roger T. ; Pisano Albert P., Microfabricated filter and shell constructed with a permeable membrane.
    상세보기
  7. Sholder Jason A. (Canoga Park CA), Motion sensor for implanted medical device.
    상세보기
  8. Evans Doyle R. (Rockwell TX), Multi-ball position switch.
    상세보기
  9. Ward James R. ; Dahlgren Derek A., Proportional actuator for proportional control devices.
    상세보기
  10. Scgiebelhuth Heinz (Frankfurt DEX), Safety shut-off device.
    상세보기
  11. Han Ki Su, Screwdriver and screw.
    상세보기
  12. Thornsberry William H. (200 S. Main ; P.O. Box 64 Sumner MO 64681), Slope angle and level indicator apparatus.
    상세보기
  13. Wu Tey-Jen,TWX, Switch for four-quarters clock.
    상세보기
  14. Kilby Jack S. (Dallas TX) McKee William R. (Plano TX) Porter Wilbur A. (College Station TX), System for fabrication of semiconductor bodies.
    상세보기

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Ebel,John L.; Cortez,Rebecca; Strawser,Richard E.; Leedy,Kevin D., MEMS RF switch integrated process.
    상세보기
  2. Ebel,John L.; Cortez,Rebecca; Strawser,Richard E.; Leedy,Kevin D., MEMS RF switch integrated process.
    상세보기

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로