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Metals recovery system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/00
출원번호 US-0132940 (1998-08-11)
발명자 / 주소
  • John C. Kutt
  • Craig J. Gilmond
  • Jeff R. Kelby
  • Pat N. McCabe, Jr.
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Anthony J. Canale
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 7

초록

An evaporation system has fluorocarbon polymer-coated surfaces to permit easy removal of deposited metal. Evaporated lead-tin films will adhere strongly enough to a Teflon-coated shield so that the lead tin does not fall off during vacuum deposition but the bond between the lead-tin and the Teflon i

대표청구항

1. A method of depositing material on a substrate, comprising:a) providing a deposition chamber comprising a chamber wall, a shield, and a source of the material to be deposited, wherein the shield is exposed to the deposited material, and further wherein the shield comprises a protective coating; b

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Beattie Norman W. (Surrey CAX) Nyberg Donald W. (North Vancouver CAX), Apparatus for spraying liquids such as resins and waxes on surfaces of particles.
  2. Leech Lawrence D. (West Chester PA), Basecoat for a coating system.
  3. Keel Beat G. (Prior Lake MN) Tran Tuan P. (Bloomington MN) Koller Mara M. (St. Paul MN) Zimmerman Larry D. (Apple Valley MN) Darst Patrick C. (Cottage Grove MN), Deposition process.
  4. Koike Atsushi (Chiba JPX), Film forming apparatus capable of preventing adhesion of film deposits.
  5. Ye Yan (Campbell CA) Gupta Anand (San Jose CA) Shamouliam Shamouil (San Jose CA), Reduction of contaminant buildup in semiconductor apparatus.
  6. Ye Yan (3862 Via Salice Campbell CA 95008) Gupta Anand (1270 Briarcreek Ct. San Jose CA 95131) Shamouliam Shamouil (1256 Washoe Dr. San Jose CA 95120), Reduction of contaminant buildup in semiconductor processing apparatus.
  7. Piwcyzk Bernhard P. (No. 6 Lismer Court Kanata ; Ontario CA K2K 1A2), Vacuum deposition methods and masking structure.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Nesbitt, Bruce, Electrosurgical electrode and method of manufacturing same.
  2. Nesbitt, Bruce, Electrosurgical electrode and method of manufacturing same.
  3. Nesbitt, Bruce, Electrosurgical electrode and method of manufacturing same.
  4. Tuttle, Mark E.; Deak, James G., Magnetic shield for integrated circuit packaging.
  5. Spielberger, Richard K.; Katti, Romney R., Methods for providing a magnetic shield for an integrated circuit having magnetoresistive memory cells.
  6. Spielberger, Richard K.; Katti, Romney R., Shielding arrangement to protect a circuit from stray magnetic fields.
  7. Spielberger,Richard K.; Katti,Romney R., Shielding arrangement to protect a circuit from stray magnetic fields.
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