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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0593833 (2000-06-13) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 4 |
A flow meter for use in a flow stream with a tubular housing, including a fluid inlet and a fluid outlet, in the flow stream, with the inlet pressure exceeding the outlet pressure. The interior has an orifice defined in a crystalline silicon membrane, along crystal planes of the silicon so that the
1. A flow restrictor with apparatus for measuring fluid flow therethrough comprising,a housing having an inlet connected to a fluid supply and an outlet delivering a fluid supply, the inlet pressure greater than the outlet pressure, the outlet having a crystalline membrane defining an orifice of pre
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