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Transportation container and method for opening and closing lid thereof

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/48
출원번호 US-0563637 (2000-05-02)
발명자 / 주소
  • Shinichi Ohori JP
  • Hideaki Aoki JP
출원인 / 주소
  • Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. JP
대리인 / 주소
    Darby & Darby
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 9

초록

A transportation container comprises: a container body for housing a plurality of semiconductor wafers; a detachable lid adapted to engage in and cover an open front face of the container body via a seal gasket; and a locking mechanism adapted to fix the lid engaged into the open front face of the c

대표청구항

1. A transportation container comprising:a container body for housing precision substrates; a detachable lid adapted to engage in and cover an open end face of said container body via a seal gasket; and a locking mechanism adapted to fix said lid engaged into the open end face of said container body

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Gregerson Barry (Chanhassen MN) Dressen Larry (Chanhassen MN) Mortensen Roger L. (Chanhassen MN), Disk package.
  2. Hosoi Masato,JPX, Identification structure of a substrate storage container and method of identifying a substrate storage container.
  3. Mages Andreas,DEX ; Scheler Werner,DEX ; Blaschitz Herbert,DEX ; Schulz Alfred,DEX ; Schneider Heinz,DEX, Loading and unloading station for semiconductor processing installations.
  4. Grohrock Peter (Hoehenkirchen-Siegertsb DEX), Lockable container for transporting and for storing semiconductor wafers.
  5. Williams Edward S. (Burke VA) Herzog John R. (Sacramento CA), Medical sterilizer device with improved latch mechanism.
  6. Chern Yuh Shun,TWX, Sealing container.
  7. Betsuyaku Takashi,JPX, Storage container for precision substrates and a positioning mechanism therefor and a method of positioning the storage container for precision substrates.
  8. Ogino Nobuyoshi (Musashino JPX) Yajima Toshitsugu (Itoigawa JPX), Wafer basket for containing semiconductor wafers.
  9. Kos Robert D. (Victoria MN), Wafer carrier with wafer retaining cushions.

이 특허를 인용한 특허 (22)

  1. Inoue, Takaaki, Accommodation cassette.
  2. Saeki, Hiroaki; Sasaki, Yoshiaki; Taniyama, Yasushi, Device for attaching target substrate transfer container to semiconductor processing apparatus.
  3. Johnson,Michael L.; Cadavid,Carlos; Thomas, Jr.,Ronald E.; Harris,Andrews, Disk cassette system.
  4. Chiu, Ming-Chien; Lu, Pao-Yi; Hung, Kuo Chun, FOUP and robotic flange thereof.
  5. Chen, Kuan-Chou; Hu, Ping-Yu; Chen, Kuei-Jung; Wu, Tzong-Ming; Lin, Wu-Lang; Lee, Wen-Yo, Front-opening unified pod auto-loading structure.
  6. Gregerson, Barry; Adams, Michael S.; Steffens, Jason T., Methods and apparatus for large diameter wafer handling.
  7. Gregerson, Barry; Adams, Michael Shawn; Steffens, Jason Todd, Methods and apparatus for large diameter wafer handling.
  8. Tanaka, Akira; Kishi, Takashi, Power supply apparatus for supplying electric power to substrate carrier container.
  9. Narita, Shoriki; Ishida, Kenichi; Hirata, Shuichi; Shida, Satoshi, Receiver for component feed plates and component feeder.
  10. Oyama,Katsuhiko, Receiving container body for object to be processed.
  11. Hasegawa,Akihiro; Mimura,Hiroshi, Substrate storage container.
  12. Nakayama, Takayuki; Sumi, Atsushi, Substrate storage container.
  13. Mosher,Larry Joseph, System, method, and apparatus for removing covers from shipping containers.
  14. Matsutori, Chiaki; Obayashi, Tadahiro, Thin plate supporting container.
  15. Matsutori,Chiaki; Obayashi,Tadahiro, Thin plate supporting container.
  16. Matsutori,Chiaki; Obayashi,Tadahiro, Thin plate supporting container.
  17. Matsutori,Chiaki; Obayashi,Tadahiro, Thin plate supporting container.
  18. Matsutori,Chiaki; Obayashi,Tadahiro, Thin plate supporting container.
  19. Ku, Chen-Wei; Lu, Pao-Yi; Liao, Kun-Hong; Sheng, Jain-Ping, Transmission box for reticle POD.
  20. Choo, Yeon-sik; Park, Soo-Jae; Noh, Jae-Heon; Cho, Yong-Sang, Wafer carrier including air filters.
  21. Nakatogawa, Takuji, Wafer carrier positioning structure.
  22. Conarro, Patrick Rooney, Wafer shipping container.
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