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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0113599 (1998-07-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 23 인용 특허 : 27 |
A substrate handling robot includes an arm drive mechanism. A first arm is connected to the arm drive mechanism. A multiple substrate batch loader is connected to the first arm. A second arm is also connected to the arm drive mechanism. A single plane end effector is connected to the second arm. The
1. A dual-armed robot for handling substrates disposed in a container providing a plurality of uniformly-spaced storage slots arranged vertically, the robot comprising;a multiple plane substrate holder, comprising a plurality of identical modular paddles stacked on a base paddle with uniform spacing
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