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Ceramic heater 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H05B-003/10
  • H05B-003/44
출원번호 US-0807431 (2001-04-23)
우선권정보 JP-0252926 (1999-09-07)
국제출원번호 PCT/JP00/06109 (2000-09-07)
§371/§102 date 20010423 (20010423)
국제공개번호 WO01/19139 (2001-03-15)
발명자 / 주소
  • Satoru Kariya JP
출원인 / 주소
  • Ibiden Co., Ltd. JP
대리인 / 주소
    Greenblum & Bernstein, P.L.C.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 16

초록 ▼

In a ceramic heater comprising a heating body formed on a surface of a ceramic substrate, the heating body is made of a non-sintering type metal foil or an electrically conductive ceramic thin film, and the metal foil or electrically conductive ceramic thin film is adhered to the surface of the subs

대표청구항

1. A ceramic heater comprising a plate-shaped ceramic substrate and a heating body formed on a surface of the substrate or in an inside thereof and made of a non-sintering metal foil or an electrically conductive ceramic thin film.

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Noda Yoshiro,JPX ; Suematsu Yoshiro,JPX ; Aoyama Toshihiko,JPX ; Kawachi Yoshitake,JPX, Alumina-based sintered material for ceramic heater.
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  2. Nobori Kazuhiro (Haguri-gun JPX) Ushikoshi Ryusuke (Tajimi JPX) Umemoto Koichi (Toyota JPX) Sakon Atsushi (Nagoya JPX) Niiori Yusuke (Inuyama JPX) Murasato Masahiro (Chita JPX), Apparatuses for heating semiconductor wafers, ceramic heaters and a process for manufacturing the same, a process for ma.
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  3. Kawada Nobuo (Gunma-ken JPX) Kano Shoji (Gunma-ken JPX) Hagiwara Koji (Gunma-ken JPX) Arai Nobuo (Gunma-ken JPX) Arami Junichi (Tokyo JPX) Ishikawa Kenji (Kanagawa-ken JPX), Ceramic electrostatic chuck with built-in heater.
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  4. Miyata Fumishige,JPX ; Koyama Tatsuya,JPX ; Okuda Seiko,JPX, Ceramic heater.
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  5. Sawamura Kentaro,JPX ; Miki Nobuyuki,JPX ; Kitajima Masahiro,JPX ; Mitsuhashi Etsuo,JPX ; Yodogawa Masatada,JPX ; Sato Shinichi,JPX ; Okamura Akio,JPX ; Kondo Ryoichi,JPX, Ceramic heater.
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  6. Suzuki Hirofumi (Kariya JPX) Yoshida Hitoshi (Okazaki JPX) Yamaguchi Shunzo (Okazaki JPX), Ceramic heater and a method for its production.
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  7. Tanaka Arihito,JPX ; Sakurai Chihiro,JPX, Ceramic heater and method of manufacturing the same.
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  8. Kita Hideki,JPX, Ceramic heater and process for producing the same.
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  9. Mizuno Takanori,JPX ; Kimata Hiroyuki,JPX, Ceramic heater for a glow plug having tungsten electrode wires with metal coating.
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  10. Ushikoshi Ryusuke (Tajima JPX) Sakon Atsushi (Nagoya JPX) Umemoto Koichi (Toyota JPX) Niiori Yusuke (Inuyama JPX), Ceramic heaters and heating devices using such ceramic heaters.
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  11. Matsushita, Yasuo; Nakamura, Kousuke; Harada, Koji, Electrically conductive sintered ceramics and ceramic heaters.
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  12. Katsuda Yuji,JPX ; Araki Kiyoshi,JPX ; Ohashi Tsuneaki,JPX, Electrically heated substrate with multiple ceramic parts each having different volume resitivities.
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  13. Shirai Makoto,JPX ; Kuroki Hisao,JPX ; Kobayashi Masayuki,JPX, Gas sensor with ceramic heater.
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  14. McCarter David, Infrared food warming device.
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  15. Konishi Masahiro,JPX ; Watanabe Shindo,JPX, Method for manufacturing a ceramic heater.
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  16. Kawada Nobuo (Gunma JPX) Kubota Yoshihiro (Gunma JPX) Harada Kesazi (Gunma JPX) Itou Kenji (Gunma JPX), Triple-layered ceramic heater.
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이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Hiramatsu, Yasuji; Ito, Yasutaka, Ceramic substrate.
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  2. Kingdon,Charles J.; Adelmann,Christopher J.; Arellano,Abel Anthony; Gallardo,Joe Louis, Conveyor type oven.
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  3. Kingdon,Charles J.; Adelmann,Christopher J.; Arellano,Abel Anthony; Gallardo,Joe Louis, Conveyor type oven.
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  4. Zucker, Martin L.; Devine, Daniel J.; Lee, Young Jai, Electrostatic chuck system and process for radially tuning the temperature profile across the surface of a substrate.
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  5. Bitter, Ralf; Heffels, Camiel; Hörner, Thomas, Infrared radiator arrangement for a gas analysis device.
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  6. Sugiyama,Masahiko; Inoue,Yoshinori, Prober and probe testing method for temperature-controlling object to be tested.
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  7. Sugiyama,Masahiko; Inoue,Yoshinori, Prober and probe testing method for temperature-controlling object to be tested.
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