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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0836054 (2001-04-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 37 인용 특허 : 5 |
A method of forming a semiconductor device having selectively fabricated copper interconnect structure that is encapsulated within selectively formed metallic barriers. An exemplary encapsulated copper interconnect structure includes a first low dielectric constant layer (low K1) formed over a subst
1. A method of fabricating a semiconductor device, having an encapsulated copper interconnect structure, comprising:(a) providing a semiconductor substrate that accommodates an electrical interconnect structure; (b) forming a first copper interconnect structure comprising an elevated copper intercon
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