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Gas sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-027/14
  • G01N-007/00
  • G01N-027/12
출원번호 US-0801675 (2001-03-09)
우선권정보 DE-0011562 (2000-03-09)
발명자 / 주소
  • Ralf Moos DE
  • Thomas Birkhofer DE
  • Aleksandar Knezevic DE
  • Ralf Mueller DE
  • Carsten Plog DE
출원인 / 주소
  • Dornier GmbH DE
대리인 / 주소
    Crowell & Moring LLP
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 11

초록 ▼

A gas sensor, comprises a substrate, a sensor unit including a functional layer and an electrode structure, and an electric heating and/or temperature measuring arrangement. An electrically conductive shielding structure is provided between the sensor unit and the electric heating arrangement in ord

대표청구항 ▼

1. A gas sensor, comprising:a substrate; a sensor unit, comprising a functional layer and an electrode structure; an electric heating arrangement for heating the sensor; and an electrically conductive shielding structure disposed between the sensor unit and the electric heating arrangement, to shiel

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Samman Amer Mohammad Khaled ; Gebremariam Samuel Admassu ; Rimai Lajos, Combustible gas diode sensor.
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  2. Park Hyeon Soo,KRX ; Shin Hyun Woo,KRX ; Kwon Chul Han,KRX ; Hong Hyung Ki,KRX ; Yun Dong Hyun,KRX ; Lee Kyuchung,KRX ; Kim Sung Tae,KRX, Gas sensor and method for fabricating same.
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  3. Yagawara Shinji (Yokohama JPX) Ohta Wasaburo (Yokohama JPX), Gas sensor having metal-oxide semiconductor layer.
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  4. Fang Yean-Kuen,TWX ; Ho Jyhyi,TWX ; Chen C. H.,TWX, Integrated ethanol gas sensor and fabrication method thereof.
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  5. Manaka Junji (Kawasaki JPX), Low power gas detector.
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  6. DiMeo ; Jr. Frank ; Bhandari Gautam, Micro-machined thin film hydrogen gas sensor, and method of making and using the same.
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  7. Williams David Edward,GBX ; Edwin Pratt Keith Francis,GBX, Multi-electrode gas sensors and methods of making and using them.
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  8. Lauf Robert J., Resistive hydrogen sensing element.
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  9. Lescouzeres Lionel,FRX ; Lorenzo Alexandra,FRX ; Scheid Emmanual,FRX, Semiconductor chemical sensor device and method of forming a thermocouple for a semiconductor chemical sensor device.
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  10. Lescouzeres Lionel,FRX ; Seube Alain,FRX ; Gue Anne-Marie,FRX, Semiconductor chemical sensor device with specific heater structure.
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  11. Chang Shih-Chia (Troy MI) Hicks David B. (Farmington Hills MI), Semiconductor gas sensor having thermally isolated site.
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이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Chen,David K.; Bloink,Raymond L.; Valdes,Carlos A.; Ker,Eric L.; Zhang,Jinping, Ammonia sensor element, heater, and method for making the same.
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  2. Dimeo, Jr., Frank; Chen, Philip S. H.; Neuner, Jeffrey W.; Welch, James; Stawasz, Michele; Baum, Thomas H.; King, Mackenzie E.; Chen, Ing-Shin; Roeder, Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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  3. Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawacz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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  4. Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawasz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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  5. Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawasz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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  6. Chen,Philip S. H.; Chen,Ing Shin; Dimeo, Jr.,Frank; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing target gas species in semiconductor processing systems.
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  7. Wang,Da Yu; Lambert,David K., Compact ceramic sensor for fuel volatility and oxygenate concentration.
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  8. Yamaguchi,Akira; Fukui,Katsuhiko, Hydrogen sensor and process for production thereof.
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  9. Fukui, Katsuhiko, Hydrogen sensor with detection film comprised of rare earth metal particles dispersed in a ceramic.
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  10. DiMeo, Jr., Frank; King, Mackenzie E., Optical hydrogen detector.
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  11. Rottmann, Andreas; Buse, Frank; Schneider, Jens; Juestel, Thomas, Sensor element including a strip conductor and a reference gas channel.
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  12. Pernel, Carole; Poinard, André, Support for a thin element, quartz microbalance including such a support and a sample holder including such a support.
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