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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0132185 (2002-04-26) |
우선권정보 | JP-0102574 (1999-04-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 7 |
A transport enclosure arranged between a first apparatus and a second apparatus, all located in a clean room, is shielded from the clean room and maintained a degree of cleanliness which is cleaner than that of the clean room. Accordingly, the volume of space within the clean room requiring the high
1. A method of transferring a material from a first chamber to a second chamber in a clean room, the clean room shielded from an external atmosphere and maintained a first degree of cleanliness, said method comprising:depositing the material in the first chamber; treating the material with a first t
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