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Method and apparatus for separating and recovering perfluoro compound

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-053/22
출원번호 US-0926044 (2001-12-26)
국제출원번호 PCT/JP00/08949 (2000-12-18)
§371/§102 date 20011226 (20011226)
국제공개번호 WO01/45826 (2001-06-28)
발명자 / 주소
  • Fumio Kawasaki JP
  • Rosuke Matsubayashi JP
출원인 / 주소
  • Daido Air Products Electronics, Inc. JP
대리인 / 주소
    Armstrong, Westerman & Hattori, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 16

초록

A PFC separation recovery method to separate and recover PFC by raising the pressure of diluted mixed gas consisting of PFC gas and diluent gas, and subsequently contacting the gas with a membrane which permeates more diluent gas than PFC gas, and to separate it into a permeable gas flow rich in dil

대표청구항

1. A perfluoro compound separation recovery method for separating and recovering perfluoro compound gas by contacting it with a membrane which permeates more diluent gas than perfluoro compound gas, after high-pressurizing diluted mixed gas consisting of perfluoro compound gas and diluent gas, compr

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Chernyakov Iosif ; Hsiung Thomas Hsiao-Ling ; Schwarz Alexander ; Yang James Hsu-Kuang, Fluorochemical recovery and recycle using membranes.
  2. Prasad Ravi (East Amherst NY), Membrane nitrogen with temperature tracking.
  3. Baker Richard W. (Palo Alto CA) Bell Carl-Martin (Stuttgart CA DEX) Wijmans Johannes G. (Menlo Park CA) Ahlers Bernd (Varel DEX), Membrane process for treatment of fluorinated hydrocarbon-laden gas streams.
  4. DiMartino ; Sr. Stephen P. (Topton PA) Hopkins Jeffrey A. (Whitehall PA) Davis Ruth A. (Allentown PA), Membrane unit turn-down control system.
  5. Yamashita Naohiko,JPX ; Yamamoto Takao,JPX, Method and apparatus for recovering a gas from a gas mixture.
  6. Kusuki Yoshihiro (Ichihara JPX) Ishihara Kazuhiko (Minato JPX), Method of preparing high purity light gas by multiple-step gas separation.
  7. Thompson David R. (Grand Island NY), Multistage membrane control system and process.
  8. Barry Lionel (Versailles FRX), Process and installation for supplying nitrogen with the aid of semi-permeable membranes using a variable membrane geome.
  9. Li Yao-En ; Paganessi Joseph E. ; Vassallo David ; Fleming Gregory K., Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
  10. Gessner David M. (Worcester MA), Process for producing oxygen-enriched gas.
  11. Li Yao-En, Process for recovering CF.sub.4 and C.sub.2 F.sub.6 from a gas.
  12. Anumakonda Amar ; Gaita Romulus ; Yates Stephen ; Zhou Jim, Process for recovering sulfur hexafluoride.
  13. Daus Paul A. ; Pauley ; deceased Charles R., Process for separating natural gas and carbon dioxide.
  14. Ollivier Patrice,FRX ; Charrier Christophe,FRX ; Jouvaud Dominique,FRX, Production plant and process comprising several treatment steps.
  15. Yang James Hsu-Kuang ; Chernyakov Iosif ; Hsiung Thomas Hsiao-Ling ; Schwarz Alexander, Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series.
  16. Campbell Michael J. (Clarence Center NY), Turndown control method for membrane separation systems.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Lee, Sanghyup; Lee, Soonjae; Choi, Jae Woo, Apparatus and method for recovery of target gas.
  2. Ungerank, Markus; Roegl, Harald, Control of gas composition of a gas separation system having membranes.
  3. Yamamoto, Osamu; Kinouchi, Masayuki; Takada, Naoki; Kase, Yoji; Kikuchi, Masao, Device and method for separating and collecting halide gas.
  4. Krueger, Brett R.; Ferara, Johnny T.; McDowell, Gary D., Hydrogen reclamation apparatus and method.
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