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Energy dissipating coupling 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F04D-019/04
출원번호 US-0692902 (2000-10-19)
발명자 / 주소
  • Matthew Fenton Davis
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Moser, Patterson, Sheridan
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 9

초록

An apparatus and method for coupling a device to a semiconductor processing chamber is provided. The apparatus generally comprises a first ring disposed proximate a second ring. An energy dissipating media is disposed between the first and second rings. Upon the application of a torsional force in e

대표청구항

1. Apparatus for coupling a device to a processing chamber comprising:a first ring; a second ring adapted to rotate relative to the first ring; an energy dissipation ring disposed between said first ring and said second ring; and a turbomolecular pump coupled to said second ring.

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Kawakita Tadashi (Kanagawa JPX) Sugiyama Yukihisa (Kanagawa JPX), Energy-absorbing fastened structure.
  2. Lo Wei Ta,TWX, Heat sink module with heat dissipating device.
  3. Fenelon Paul J., Rotatable apparatus having a stress dissipation structure.
  4. Buckley ; William H. ; Ryland ; II ; Garnett, Rotational energy absorbing coupling.
  5. Zearbaugh ; deceased Francis E. ; Webb ; Heir by Lucinda Pauline ; Zearbaugh ; Heir by Scott Richard ; Zearbaugh ; Heir by Darlene K. ; Zearbaugh ; legal representative by Wayne Clayton, Spring unit for core pin assembly.
  6. Shibata Kenji,JPX ; Hoshino Mitsuo,JPX ; Fujita Katuhiko,JPX ; Matsumoto Hitoshi,JPX, Steering shaft.
  7. Bobinger David A. (Middletown OH) Folarin Abayomi O. (Dayton OH) Childress James H. (Dayton OH), Telescopic energy absorber unit for vehicle bumper mounting.
  8. Ikegami Tetsuma,JPX ; Miyamoto Matsutaro,JPX ; Kawasaki Hiroyuki,JPX, Turbo-molecular pump.
  9. Brodsky Stephen L. (New Boston MI), Vehicle seat energy absorbing mechanism.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Varennes, Nicolas; Dauvillier, Olivier, Fixing device for a vacuum pump.
  2. Kabasawa,Takashi; Sakaguchi,Yoshiyuki, Molecular pump and connecting device.
  3. Maejima, Yasushi; Ohtachi, Yoshinobu; Wada, Rumiko; Enomoto, Yoshihiro; Bailey, Chris; Stephenson, Dawn; Wilson, Kate, Molecular pump and flange having shock absorbing member.
  4. Sakaguchi,Yoshiyuki; Okudera,Satoshi; Namiki,Hirotaka; Kabasawa,Takashi; Miwata,Togru, Molecular pump equipped with flange having buffering portion.
  5. Miwata, Tooru; Okudera, Satoshi; Sakaguchi, Yoshiyuki; Maejima, Yasushi, Turbo-molecular pump.
  6. Yamashita, Yoshihiro; Sakaguchi, Yoshiyuki; Maejima, Yasushi, Vacuum pump.
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