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Multiposition micro electromechanical switch 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01P-001/10
출원번호 US-0727165 (2000-11-30)
발명자 / 주소
  • Kevin Petrarca
  • Robert A. Groves
  • Brian Herbst
  • Christopher Jahnes
  • Richard Volant
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 9

초록

A micro electromechanical switch has a guidepost formed upon a substrate. A signal transmission line is formed on the substrate, with the signal transmission line having a gap and forming an open circuit. The switch further includes a switch body having a via opening formed therein, with the switch

대표청구항

1. A multi-position, micro electromechanical switch, comprising:a plurality of guideposts formed upon a substrate; a first signal transmission line, formed on a lower layer of said substrate, said first signal transmission line having a first gap defining an open circuit associated therewith; a seco

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Shacham-Diamand Yosi ; Nguyen Vinh ; Dubin Valery, Electroless deposition of metal films with spray processor.
  2. Ghoshal Uttam Shyamalindu, Electrostatic discharge protection utilizing microelectromechanical switch.
  3. Feng Milton ; Shen Shyh-Chiang, Low actuation voltage microelectromechanical device and method of manufacture.
  4. Adams John A. ; Krulik Gerald A. ; Smith Everett D., Method and apparatus for non-contact metal plating of semiconductor wafers using a bipolar electrode assembly.
  5. Yao Jun J. (Thousand Oaks CA), Micro electromechanical RF switch.
  6. Berenz John J. ; McIver George W. ; Lee Alfred E., Micro-electro system (MEMS) switch.
  7. Haronian Dan,ILX, Micro-electro-mechanics systems (MEMS).
  8. Goldsmith Charles (Plano TX) Kanack Bradley M. (Desoto TX) Lin Tsen-Hwang (Dallas TX) Norvell Bill R. (Richardson TX) Pang Lily Y. (McKinney TX) Powers ; Jr. Billy (Richardson TX) Rhoads Charles (McK, Micromechanical microwave switching.
  9. Dubin Valery M. (Cupertino CA) Schacham-Diamand Yosi (Ithaca NY) Zhao Bin (Irvine CA) Vasudev Prahalad K. (Austin TX) Ting Chiu H. (Saratoga CA), Use of cobalt tungsten phosphide as a barrier material for copper metallization.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Yip, David, Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch.
  2. Deligianni, Hariklia; Jahnes, Christopher V.; Lund, Jennifer L.; Larson, Lawrence E., Lateral microelectromechanical system switch.
  3. Robert, Philippe, Low consumption and low actuation voltage microswitch.
  4. Farbarik, Raymond J.; Stephens, Jeremy; Twomey, Gerald J., Method and apparatus for switched electrostatic discharge protection.
  5. Farbarik, Raymond J.; Stephens, Jeremy; Twomey, Gerald J., Method and apparatus for switched electrostatic discharge protection.
  6. Montrose, Charles J.; Wang, Ping-Chuan, Method and apparatus for testing a micro electromechanical device.
  7. Cotte, John M.; Hoivik, Nils D.; Jahnes, Christopher; Lu, Minhua; Zhang, Hongqing, Method of minimizing beam bending of MEMS device by reducing the interfacial bonding strength between sacrificial layer and MEMS structure.
  8. Lu, Minhua; Hoivik, Nils D.; Jahnes, Christopher; Cotte, John M.; Zhang, Hongqing, Method of minimizing beam bending of MEMS device by reducing the interfacial bonding strength between sacrificial layer and MEMS structure.
  9. Lee, Jae Woo; Je, Chang Han; Kang, Sung Weon, Micro-electro mechanical systems switch and method of fabricating the same.
  10. Bolle, Cristian A.; Pardo, Flavio, Micro-posts having improved uniformity and a method of manufacture thereof.
  11. Marumoto, Tsunehisa, Micromachine switch.
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