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Edge gripping end effector wafer handling apparatus

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25J-015/08
출원번호 US-0565035 (2000-05-03)
발명자 / 주소
  • Anil Mankame
  • Anthony Florindi
  • Fredrick Arnold Goodman
출원인 / 주소
  • Ade Corporation
대리인 / 주소
    Weingarten, Schurgin, Gagnebin & Lebovici LLP
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 19

초록

An edge-gripping wafer handling apparatus for holding and transporting wafers in a clean room environment is implemented by mounting gripping fingers on a paddle arm adapted to be controlled by a robot. At the free end of the paddle arm, a plurality of fixed fingers is mounted. Each of these fixed f

대표청구항

1. An edge gripping wafer handling apparatus for selectively securing and transporting wafers comprising:a paddle arm configured to be supported and moved by a wafer handling apparatus; a plurality of fixed fingers attached to said paddle arm operative to engage an edge of a wafer, wherein each fixe

이 특허에 인용된 특허 (19)

  1. Matsumoto Tatsumi (Nagareyama JPX), Apparatus for detecting and centering wafer.
  2. Muka Richard S. (Topsfield MA) Pippins Michael W. (Hamilton MA) Drew Mitchell A. (Portsmouth NH), Cluster tool batchloader of substrate carrier.
  3. Molinaro James S. (Whitehall PA), End effector.
  4. Molinaro James S. (Whitehall PA), Flexible carrier for semiconductor wafer cassettes.
  5. Asakawa Kazuo (Kawasaki JPX), Force controlling system.
  6. Wytman Joe, Independent linear dual-blade robot and method for transferring wafers.
  7. Ben Jan I. (Lawrenceville NJ), Method and apparatus for transporting semiconductor wafers.
  8. Modesitt D. Bruce (San Carlos CA), Micro-gripper assembly.
  9. Campbell Lyman Lavelle (East Longmeadow MA), Mold holder arms for glassware forming machine and method of operating the same.
  10. Sundar Satish ; Matthews Ned G., Pneumatically actuated flexure gripper for wafer handling robots.
  11. Caveney Robert T. ; Hofmeister Christopher A., Robot handling apparatus.
  12. Matthews Robert R. (Richmond CA), Semiconductor wafer end effector.
  13. Ebbing Peter F. ; Sundar Satish, Substrate clamping apparatus.
  14. Ueda Issei,JPX ; Akimoto Masami,JPX ; Kudou Hiroyuki,JPX, Substrate transfer apparatus.
  15. Lee Sang S. (Chungnam KRX) Kang Bong K. (Chungnam KRX) Park Seung K. (Chungnam KRX) Yoo Hyoung J. (Chungnam KRX), Transport device for wafers of variable diameter.
  16. Amazeen Charles A. (Arlington VA) Bishop Steven S. (Fauquier County VA), Triaxial tactile sensor.
  17. Jones Oliver David, Wafer spin dryer and method of drying a wafer.
  18. Brooks Norman B. (Carlisle MA) Olmstead Michael M. (Bedford MA), Wafer transport system.
  19. Trapani Silvio P. (1907 Cordilleras Rd. Redwood City CA 94062), Wafer-handling tool.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Rogers,Theodore W.; Hamilton,Shawn M.; Mayo,Michael J., Active edge gripping and effector.
  2. Bosboom, Jeroen; Naderi, Babak; Munro, Richard; Major, Tatiana Pankova, Apparatus, system and method for providing an end effector.
  3. Embertson, Ross; Senn, Brandon, End effector for wafer transfer system and method of transferring wafers.
  4. Woodruff,Daniel J.; Harris,Randy A.; Erickson,James J.; Carr,Douglas W., End-effectors for handling microelectronic wafers.
  5. Woodruff,Daniel J.; Oberlitner,Thomas H.; Harris,Randy A.; Erickson,James J.; Carr,Douglas W., End-effectors for handling microelectronic workpieces.
  6. Schipper, Bart, Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit.
  7. Brueckner, Gerd; Deutschlaender, Arthur; Heinrich, Harald; Schneider, Germar; Schroeder, Steffen, Method and device for handling an article in the course of semiconductor fabrication.
  8. Weimer, David, Universal camshaft retainer.
  9. Sinha,Jaydeep K.; Tortola,Domenico; Poduje,Noel S., Wafer gripping fingers to minimize distortion.
  10. Iida, Naruaki; Kajiwara, Hideki, Wafer holding member.
  11. Kajiwara, Hideki, Wafer holding member.
  12. Gillespie, Joseph; Slocum, Alexander H; Weed, Allan, Workpiece gripping device.
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