[특허]Apparatus and method for handling substrates

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B66J-015/10
출원번호	US-0674180 (2000-10-24)
우선권정보	DE-198 18 479 (1998-04-24)
국제출원번호	PCT/EP99/02499 (1999-04-14)
국제공개번호	WO99/55605 (1999-11-04)
발명자 / 주소	Ulrich Speer DE Klaus Weber DE
출원인 / 주소	STEAG HamaTech AG DE
대리인 / 주소	R W Becker & Associates
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13

초록 ▼

An apparatus and method are provided for handling substrates that are provided with an inner hole. The apparatus includes an inner gripper in the form of an inner hole gripper, and an outer gripper that is embodied as a vacuum gripper and is provided with a ring in which are disposed a plurality of suction devices. A control unit controls the inner and outer grippers such that they are moved relative to one another, while they grasp one and the same substrate, for deforming or bending the substrate. According to the method, a first substrate is grasped by the inner hole gripper, is brought into contact with an outer gripper, and is grasped by the outer gripper. The inner hole gripper is released and moved through the hole in the first substrate and then grasps a second substrate. After releasing the second substrate, the inner hole gripper again grasps the first substrate and the inner and outer grippers are moved relative to one another to bend the first substrate, whereupon the center portion of the bent first substrate is brought into contact with the second substrate. Thereafter, the remaining portions of the first substrate are brought into contact with the second substrate.

대표청구항 ▼

1. An apparatus for handling substrates that are provided with an inner hole, said apparatus comprising:an inner hole gripper; an outer gripper embodied as a vacuum gripper, wherein said outer gripper is provided with a ring in which are disposed a plurality of suction devices; and a control unit for controlling said inner hole gripper and said outer gripper such that they are moved relative to one another; while they grasp one and the same substrate, for bending or deforming said substrate.

이 특허에 인용된 특허 (13)

Perego Luciano,ITX, Apparatus and method for gluing disc halves together during manufacturing of data-storage optical discs.
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Zejda Jaroslav,DEX ; Kempf Stefan,DEX, Apparatus for gripping a flat substrate.
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Vliet Kevin V. (1866 Royal Ct. Walnut Creek CA 94595), Compact disc removal device.
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Vance Dean W. (2411 Woolmarket St. Gulfport MS 39503), Compact disk handling device.
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De Jong Dirk (Merellaan 6 NL-2566 JV The Hague NLX), Device for gripping and handling objects.
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Kempf Stefan,DEX, Device for transporting substrates.
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Goldberg Lewis B. (20768 Skouras Dr. Canoga Park CA 91306), Disc handling device.
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Akagawa Minoru (Fremont) Narisawa Ryo (Palo Alto) Wilkinson David (Dublin CA), Disk gripper for use with a disk polisher.
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Pirker Willibald,ATX, Gripper for wafer-shaped articles.
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Rack Andreas,DEX ; Sauer Peter,DEX ; Szellas Stefan,DEX, Process for the adhesion of a flat plastic substrate in the form of a circular disk to a like second substrate for a digital video disc and apparatus for implementation of the process.
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Sekiguchi Hideo (Osaka JPX) Mitoh Yasuo (Osaka JPX) Misawa Yozi (Osaka JPX), Spacer holder arrangement.
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Lee Ke Ling ; Mazur Mikhail ; Lee Ken ; Martinson Robert M., System and method for handling and masking a substrate in a sputter deposition system.
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Smith Mark A. (Sarasota FL), Telescoping infeed conveyor.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

STEAG HamaTech AG DE (1)

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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