[특허]Thermal infrared array sensor for detecting a plurality of infrared wavelength bands

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Thermal infrared array sensor for detecting a plurality of infrared wavelength bands 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01J-005/02 G01J-005/00 H01L-031/08
출원번호	US-0481678 (2000-01-12)
우선권정보	JP-11-005536 (1999-01-12)
발명자 / 주소	Naoki Oda JP
출원인 / 주소	NEC Corporation JP
대리인 / 주소	Young & Thompson
인용정보	피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 4

초록 ▼

An infrared array sensor having an array of infrared sensors of different plural types for detecting infrared rays of different plural wavelength bands. Each sensor includes a diaphragm separated from a substrate by a thermally insulating cavity. The heighths of one of the diaphragm and the cavity a

대표청구항 ▼

1. An array of infrared (IR) sensors, comprising:plural first IR sensors on one substrate and plural second IR sensors on said one substrate, said first IR sensors detecting IR rays of a first wavelength band and said second IR sensors detecting IR rays of a second wavelength band different from said first wavelength band, said first and second IR sensors each comprising a diaphragm that is separated from said one substrate by a hollow cavity that isolates said substrate from said diaphragm, said diaphragm in each of said first and second IR sensors including a bolometer material film, said diaphragm in each of said first IR sensors having a first thickness and said diaphragm in each of said second IR sensors having a second thickness different from said first thickness, and said cavity in each of said first and second IR sensors having the same height.

이 특허에 인용된 특허 (4)

Whitney Julie G., Duplicative detector sensor.
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Tanaka Akio (Tokyo JPX), Infrared detector and drive method therefor.
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Shoda Masahiro,JPX, Infrared solid-state image pickup device and infrared solid-state image pickup apparatus equipped with this device.
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Oda Naoki,JPX, Thermal infrared detecting device capable of detecting infrared rays without influence of operating temperature.
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이 특허를 인용한 특허 (16)

Oda, Naoki, Dual-wavelength thermal infrared sensor.
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Vilain, Michel, Electromagnetic radiation detector and method for manufacturing such a detector.
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Sasaki, Tokuhito, Electromagnetic wave detector with improved wavelength selection property.
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Cho, Choong Rae, Electronic devices and thermal image sensors that utilize embedded quantum dots.
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Kothari, Manish, Method and system for sensing light using an interferometric element having a coupled temperature sensor.
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Woolaway, James T.; Richards, Austin A., Microbolometer optical cavity tuning and calibration systems and methods.
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Kaess, Udo; Lemier, Christian; Niemann, Markus, Microstructured sensor for the detection of IR radiation.
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Geneczko,Jeannie; Blackwell,Richard; Kohin,Margaret, Multi-spectral uncooled microbolometer detectors.
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Weick, Jürgen-Michael; Horn, Armin; Hammann, Gerhard; Laitenberger, Peter; Collier, Nick; Jones, Ross Peter, Optical guide with temperature sensing matrix.
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Ionescu, Adrian C.; Howard, Philip Earl, Pixel structure and an associated method of fabricating the same.
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Tsuchiya, Yasushi, Thermal detector, thermal detection device and electronic instrument, and method for manufacturing thermal detector.
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Noda, Takafumi; Takizawa, Jun, Thermal detector, thermal detection device, and electronic instrument.
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Tsuchiya, Yasushi, Thermal detector, thermal detection device, and electronic instrument.
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Noda, Takafumi, Thermal detector, thermal detector device, electronic instrument, and method of manufacturing thermal detector.
상세보기
Noda, Takafumi, Thermal detector, thermal detector device, electronic instrument, and method of manufacturing thermal detector.
상세보기
Noguchi, Hidetaka, Thermal infrared sensor and manufacturing method thereof.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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