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Method and device for filling a distribution line with corrosive gas

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B08B-005/00
  • B08B-009/032
출원번호 US-0584725 (2000-06-01)
우선권정보 FR-99 07191 (1999-06-08)
발명자 / 주소
  • Jean-Marc Girard FR
  • James McAndrew FR
  • Eric Duchateau FR
  • Bertrand Lefevre FR
출원인 / 주소
  • L'Air Liquide, Societe Anonyme a Directoire et Counseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procedes Georges Claude FR
대리인 / 주소
    Burns, Doane, Swecker & Mathis, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 12

초록

The subject of the present invention is a method and a device for filling a distribution line (20) with corrosive gas. The said method is a method for filling with gas, with passivation, a line (20) for distributing corrosive gas, which line is intended to distribute the said corrosive gas to a syst

대표청구항

1. Method for filling with gas, with passivation, a line for distributing a corrosive or active gas, which line is suitable for distributing said gas to a system located immediately downstream of said line; said method comprising:prior conditioning of said line; and actual filling of said line with

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Gerdes Walter F. (Lake Jackson TX), Analyzer for water in gases by accumulate-desorb-inject method.
  2. Ohmi Tadahiro (Sendai JPX) Sugiyama Kazuhiko (Sendai JPX) Nakahara Fumio (Sendai JPX) Umeda Masaru (Tokyo JPX), Cylinder cabinet piping system.
  3. George Mark (23 N. 12th St. Allentown PA 18102), Delivery of reactive gas from gas pad to process tool.
  4. Ohmi Tadahiro,JPX ; Hirao Keiji,JPX ; Minami Yukio,JPX ; Yamaji Michio,JPX ; Hirose Takashi,JPX ; Ikeda Nobukazu,JPX, Fluid control device.
  5. Redemann Eric J. ; Vu Kim N., Gas panel.
  6. Park Jae Won,KRX, Gas supply device for semiconductor manufacturing apparatus.
  7. Itafuji Hiroshi,JPX, Gas supply unit.
  8. Okumura Katsuya (Yokohama JPX) Sudo Yoshihisa (Niiza JPX) Goshima Kenichi (Kasugai JPX) Itafuji Hiroshi (Kasugai JPX) Kojima Akihiro (Kasugai JPX), Gas supplying system and gas supplying apparatus.
  9. Shaw J. Leonard (Les Roches Fleuries Fort George ; Guernsey GB1), Hygrometers.
  10. Cunningham Richard D. (Omaha NE), Method for automatically measuring the amount of water in a natural gas pipeline with the aid of a computer controlled g.
  11. Sierk Dennis A. (Huntsville AL) DuRoss Ronald R. (Huntsville AL) Geist Stephen G. (Union Grove AL) Hayes Gregory L. (Fayetteville TN), Process gas distribution system and method.
  12. Ritrosi Joe ; Schmitt Gary ; Quintino Carl ; Kasper Gerhard, Purgeable connection for gas supply cabinet.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Shareef, Iqbal; Taskar, Mark; Zemlock, Tony, Gas transport delay resolution for short etch recipes.
  2. Hsu, Ning-Yih; Fang, Chieh; Tzeng, Hwa-Yuan; Tsai, Chen-To; Wen, Tung-Jen, Pipe-passivating alkali-injecting device for a nuclear plant.
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