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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0128712 (1998-08-04) |
우선권정보 | JP-9-288025 (1997-10-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 6 |
A turbo molecular pump comprises a pump body having a vacuum chamber, a gas inlet port and a gas outlet port. A rotor shaft is mounted in the pump body for undergoing rotation. A rotor vane section is disposed in the vacuum chamber and has rotor vanes connected to the rotor shaft for rotation therew
1. A turbo molecular pump comprising: a rotor shaft; a bearing for rotatably supporting the rotor shaft; a motor for rotating the rotor shaft supported by the bearing; a vacuum chamber; rotor vanes arranged in multiple pumping stages and disposed in the vacuum chamber and connected to the rotor shaf
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