[특허]Apparatus and method for degassing and preventing gelation in a viscous liquid

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Apparatus and method for degassing and preventing gelation in a viscous liquid 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-019/00
출원번호	US-0756613 (2001-01-04)
발명자 / 주소	Tzung-Chi Fu TW Albert An-Ho Yin TW
출원인 / 주소	Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd TW
대리인 / 주소	Tung & Associates
인용정보	피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 9

초록 ▼

An apparatus for degassing and preventing gelation in a viscous liquid stored in a reservoir tank is provided. For a viscous liquid such as one that has a viscosity higher than 5000 cp, a reservoir tank that has a cavity for holding the liquid is first provided which is equipped with a liquid feed conduit and a liquid output conduit. The liquid feed conduit is configured in J-shape with an inlet end at a top of a first vertical section in fluid communication with a liquid source tank and an outlet end at an opposite end of a second vertical section of the J-shape conduit protruding above a liquid level stored in the tank cavity. A U-section of the liquid feed conduit is generally immersed in the viscous liquid.

대표청구항 ▼

1. An apparatus for degassing and preventing gelation in a viscous liquid stored in a reservoir tank comprising:a reservoir tank having a cavity therein for holding a liquid; a liquid feed conduit of J-shape having an inlet end in fluid communication with a liquid source and an outlet end at an opposite end of a second vertical section of said J-shape conduit protruding above said liquid, a U-section of said conduit being generally immersed in said liquid; and a liquid output conduit having an inlet end immersed in said liquid and an outlet end in fluid communication with a dispensing nozzle of said liquid.

이 특허에 인용된 특허 (9)

Sakamoto Kazuo,JPX ; Fujimoto Akihiro,JPX ; Ishizaka Nobukazu,JPX ; Hasegawa Izumi,JPX, Apparatus and method for supplying a process solution.
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Yajima Takeo,JPX, Chemical liquid supply method and apparatus thereof.
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Wang Wen-Shyan,TWX ; Lu Shih-Hung,TWX, Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line.
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Hung Cheng-chieh,TWX ; Wen Ming-chien,TWX ; Chuang Mao-sheng,TWX, Method and apparatus for eliminating trapped air from a liquid flow.
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Huang Cheng H.,TWX ; Wang Ray C.,TWX ; Liu Teh Y.,TWX ; Chao Cheng H.,TWX, Method and apparatus for recovering process liquid and eliminating trapped air.
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Hasebe Keizo (Kofu JPX) Fujimoto Akihiro (Kumamoto-ken JPX) Inada Hiroichi (Kumamoto JPX) Iino Hiroyuki (Nirasaki JPX) Kitamura Shinzi (Kumamoto-ken JPX) Deguchi Masatoshi (Kumamoto JPX) Nambu Mitsuh, Method of forming coating film and apparatus therefor.
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Liu Jen Song,TWX ; Chang Bii Juno,TWX ; Fang Jen Shang,TWX ; Chang Hao Wei,TWX, Photoresist supply system with air venting.
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Do Dac-Vong (Langen DEX), Process and apparatus for degassing and filtering liquids.
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Hisao Kamo JP, Solution feeding apparatus and method of feeding solution.
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이 특허를 인용한 특허 (8)

Park, Jin Jun; Yun, Suk Fill, Apparatus for dispensing photo-resist in semiconductor device fabrication equipment.
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Lee, Jung-Min; Lee, Choong-Ho, Apparatus for dispensing resin fluid.
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Udagawa, Seiichiro, Chemical liquid apparatus and deaerating method.
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Yajima, Takeo, Chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply method.
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Carcasi, Michael Andrew; Printz, Wallace Paul; Hooge, Joshua Steven, Method and apparatus for increased recirculation and filtration in a photoresist dispense system using a liquid empty reservoir.
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Nguyen,Andrew, Method and system of coating polymer solution on surface of a substrate.
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Kao, Yao-Hwan; Huang, Po-Chang, System and method for replacing resist filter to reduce resist filter-induced wafer defects.
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Crowder, Robert O.; Burban, John H.; Jersey, Steven T.; Carlson, Kevin; Saveliev, Michael, Venting and filtration systems with gas permeable membrane.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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