$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Pod door to port door retention system

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • E05C-005/02
출원번호 US-0115414 (1998-07-14)
발명자 / 주소
  • Rosenquist, Frederick T.
  • Ng, Michael
출원인 / 주소
  • Asyst Technologies, Inc.
대리인 / 주소
    O'Melveny & Myers, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 16

초록

A system is disclosed for ensuring that the pod door is firmly and securely retained on the port door of a process tool as the pod door is removed from the pod and stowed in the process tool during workpiece transfer between the pod and process tool. The system includes a latch key protruding outwar

대표청구항

A system is disclosed for ensuring that the pod door is firmly and securely retained on the port door of a process tool as the pod door is removed from the pod and stowed in the process tool during workpiece transfer between the pod and process tool. The system includes a latch key protruding outwar

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Wu Kim F. (Garden Grove CA), Adjustable latching apparatus and method of latchably pressing and holding together.
  2. Calzone Ronald J. (HCR 60 ; Box 296 Dixon MO 65459), Clamp for securing trailer ramp in transport position.
  3. Tullis Barclay J. (Palo Alto CA) ..AP: Hewlett-Packard Company (Palo Alto CA 02), Interlocking door latch for dockable interface for integrated circuit processing.
  4. McCormack Edward (Media PA), Latch assembly.
  5. Leaver John Y. (Elkhart IN) Huggins Harold D. (Quincy IL), Latching mechanism for panels.
  6. Mages Andreas,DEX ; Scheler Werner,DEX ; Blaschitz Herbert,DEX ; Schulz Alfred,DEX ; Schneider Heinz,DEX, Loading and unloading station for semiconductor processing installations.
  7. Hnel Joachim (Bblingen DEX) Hberle Fritz (Sindelfingen DEX) Mtting Gtz (Bblingen DEX) Mnsinger Walter (Bblingen-Dagersheim DEX), Lock with a lock cylinder for a floor lid of a motor vehicle.
  8. Bonora Anthony C. ; Neads Michael A. ; Oen Joshua T., Method and apparatus for vertical transfer of a semiconductor wafer cassette.
  9. Tullis Barclay J. (Palo Alto CA) Parikh Mihir (San Jose CA) Thrasher David L. (Menlo Park CA) Johnston Mark E. (Saratoga CA), Particle-free dockable interface for integrated circuit processing.
  10. Bonora Anthony C. ; Fosnight William J. ; Martin Raymond S., Rotated, orthogonal load compatible front-opening interface.
  11. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Fosnight William J. (Newark CA) Martin Raymond S. (San Jose CA) Rhine Bruce C. (Fremont CA), SMIF port interface adaptor.
  12. Beard Eugene R. (3186 Reva Dr. Concord CA 94519), Screw lock for interlocking sliding door and windows.
  13. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Rosenquist Frederick T. (Redwood City CA), Sealable transportable container having improved latch mechanism.
  14. Ruoss Peter A. (P.O. Box 1234 Princeton ; British Columbia CAX V0X 1W0 ), Security grill system.
  15. Bonora Anthony C. ; Cortez Edward J. ; DiPaola J. Mark ; Netsch Robert R., Universal tool interface and/or workpiece transfer apparatus for SMIF and open pod applications.
  16. Mascotte Lawrence L. (9106 SE. 82nd Portland OR 97266), Window guard locking device.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Gonzalez, Pablo; Watts, Gary Roy, Access arbitration module and system for semiconductor fabrication equipment and methods for using and operating the same.
  2. Kimoto, Shinyo; Tokunaga, Kenji; Sakata, Katsunori; Kajita, Norio, Cylinder, load port using it, and production system.
  3. Kim,James, Deadbolt interior.
  4. Bacchi, Paul; Filipski, Paul S., Detection of motive force applied to transport box mounted on a fims system.
  5. Hontz, Jeffrey Walter; Mickelson, Eric Neil, Door latch.
  6. Myers, Gary L.; Roatis, Calin V.; Denison, William D.; Barnas, Thomasz; Captarencu, Catalin; Paeth, Richard, Electronic cam locking systems for vending machines and the like.
  7. Yokoyama, Shinji, FOUP opener.
  8. Figueroa, Gilberto; Hruska, Daniel; Yam, Hon Hung; White, Michael S., Injection/ejection mechanism.
  9. Fang, Rui, LCD glass substrate storage tray.
  10. Kowalczyk, Piotr Leonard, Locking arrangement.
  11. Shien, Kwen-Mu; Lo, Fu-Sun; Peng, Ray-Chung, Method and apparatus for testing cassette pod door.
  12. Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu; Emoto, Jun, Pod clamping unit in pod opener, pod corresponding to pod clamping unit, and clamping mechanism and clamping method using pod clamping unit.
  13. Min, Hao; Gong, Zhangping, Safety locking mechanism for lockset.
  14. Ciminello,Nicholas Frank; Schmoke,David L.; Sherwood,Edward, Secondary latchkey mechanism and method for reticle SMIF pods.
  15. Bacchi, Paul; Filipski, Paul S., Specimen scanning mechanism adapted for implementation in a FIMS system.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트