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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0687947 (2000-10-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 14 |
The invention encompasses a method of treating a physical vapor deposition target. The target has a sputtering surface and a sidewall edge at a periphery of the sputtering surface. The method comprises pressing a tool against the sidewall edge to form a distribution of imprints in the sidewall edge
1. A physical vapor deposition target comprising: a sputtering surface having an outer periphery; and a sidewall edge along the outer periphery of the sputtering surface; the sidewall edge having a repeating pattern of imprints extending therein. 2. The physical vapor deposition target of clai
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