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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0098712 (1998-06-17) |
우선권정보 | JP-0162188 (1997-06-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 12 |
An polishing apparatus consists of a piston which is fixed to the rotation axis, a ceramic plate which is oppositely arranged against the piston via a silicone gel, and a cylinder which houses these components. The wafer is attached on the bottom surface of a backing pad, and will be pressed and rot
1. An apparatus for polishing a semi-conductor wafer, comprising: a housing member which maintains a fluid in a sealed condition; a shaft; a pressing member fixedly connected to said shaft which presses the fluid while maintaining the sealed condition of the housing member by application forces
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