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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0151527 (2002-05-20) |
우선권정보 | JP-0361012 (1997-12-26); JP-0361016 (1997-12-26); JP-0045308 (1998-02-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 20 |
This invention is to provide an apparatus for separating a substrate having a porous layer at the porous layer. A bonded substrate stack (101) having a porous layer (10b) is supported by substrate holding portions (120, 150) while being rotated. High-speed, high-pressure water (jet) is ejected from
This invention is to provide an apparatus for separating a substrate having a porous layer at the porous layer. A bonded substrate stack (101) having a porous layer (10b) is supported by substrate holding portions (120, 150) while being rotated. High-speed, high-pressure water (jet) is ejected from
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