최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0769507 (2001-01-26) |
우선권정보 | JP-0182921 (1995-07-19) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 32 |
A vacuum processing apparatus is composed of a cassette block and a vacuum processing block. The cassette block has a cassette table for mounting a plurality of cassettes containing a sample and an atmospheric transfer means. The vacuum processing block has a plurality of processing chambers for per
1. A vacuum processing apparatus for processing substrates in semiconductor manufacture, comprising: a plurality of vacuum processing blocks arranged in a row, each of said vacuum processing blocks containing a vacuum processing chamber for processing of a substrate, a load lock chamber and a vac
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.