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특허 상세정보

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Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G06F-007/00   
미국특허분류(USC) 700/228; 070/218; 070/217
출원번호 US-0769507 (2001-01-26)
우선권정보 JP-0182921 (1995-07-19)
발명자 / 주소
  • Soraoka, Minoru
  • Yoshioka, Ken
  • Kawasaki, Yoshinao
출원인 / 주소
  • Hitachi, Ltd.
대리인 / 주소
    Antonelli, Terry, Stout, & Kraus, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 32
초록
▼

A vacuum processing apparatus is composed of a cassette block and a vacuum processing block. The cassette block has a cassette table for mounting a plurality of cassettes containing a sample and an atmospheric transfer means. The vacuum processing block has a plurality of processing chambers for performing vacuum processing to the sample and a vacuum transfer means for transferring the sample. Both of the plan views of the cassette block and the vacuum processing block are nearly rectangular, and the width of the cassette block is designed larger than th...

대표
청구항
▼

1. A vacuum processing apparatus for processing substrates in semiconductor manufacture, comprising: a plurality of vacuum processing blocks arranged in a row, each of said vacuum processing blocks containing a vacuum processing chamber for processing of a substrate, a load lock chamber and a vacuum transfer robot, a cassette table adapted for holding plural substrate-carrying cassettes always in the atmosphere, aligned along said row in front of said plurality of vacuum processing blocks, and transfer means for transferring substrates from cassette...

이 특허에 인용된 특허 (32)

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  27. Kato Shigekazu,JPX ; Nishihata Kouji,JPX ; Tsubone Tsunehiko,JPX ; Itou Atsushi,JPX, Vacuum processing apparatus and operating method therefor.
  28. Turner Norman L. (Mountain View CA) White John M. (Hayward CA), Vacuum processing apparatus having improved throughput.
  29. Kato Shigekazu (Kudamatsu JPX) Tamura Naoyuki (Kudamatsu JPX) Nishihata Kouji (Tokuyama JPX) Tsubone Tsunehiko (Hikari JPX) Itou Atsushi (Kudamatsu JPX), Vacuum processing system.
  30. Dimock Jack A. (Santa Barbara CA) Woestenburg Dirk P. (Summerland CA), Wafer processing machine with evacuated wafer transporting and storage system.
  31. Toshima Masato, Wafer transfer system and method of using the same.
  32. Miller Kenneth C. (280 Easy St. ; #117 Mountain View CA 94043), Wafer transport device.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Bonora, Anthony C.; Gould, Richard H.; Hine, Roger G.; Krolak, Michael; Speasl, Jerry A., Universal modular wafer transport system.
  2. Bonora, Anthony C.; Gould, Richard H.; Hine, Roger G.; Krolak, Michael; Speasl, Jerry A., Universal modular wafer transport system.

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