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Microelectromechanical system sensor assembly 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01F-001/68
출원번호 US-0727017 (2000-11-29)
발명자 / 주소
  • Tai, Yu-Chong
  • Lin, Qiao
  • Wu, Shuyun
출원인 / 주소
  • California Institute of Technology
대리인 / 주소
    Fish & Richardson P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 8

초록

A sensor assembly has a substrate with a microchannel formed therein through which a fluid can flow. At least one sensor is proximate to the microchannel. The temperature of the at least one sensor or fluid may indicate the condition of the fluid, for example, the flow rate and the presence of gas b

대표청구항

A sensor assembly has a substrate with a microchannel formed therein through which a fluid can flow. At least one sensor is proximate to the microchannel. The temperature of the at least one sensor or fluid may indicate the condition of the fluid, for example, the flow rate and the presence of gas b

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Dickey Fred M. ; Holswade Scott C., Apparatus and method for sensing motion in a microelectro-mechanical system.
  2. Hays Ken Maxwell, Dissolved wafer fabrication process and associated microelectromechanical device having a support substrate with spacing mesas.
  3. Schmidt Robert N. ; Shaw Greg S., Fluid flow control devices.
  4. Doi Mizuho (Wako JPX) Nishio Tomoyuki (Wako JPX) Fueki Nobuhiro (Wako JPX), Gas flow type angular velocity sensor.
  5. Bohrer, Philip J.; Higashi, Robert E.; Johnson, Robert G., Integral flow sensor and channel assembly.
  6. Marek Jiri (Reutlingen DEX), Process for manufacturing micro-mechanical sensors.
  7. Jerman John H. (Palo Alto CA) Toth Ronald E. (Grayslake IL) Winchell David A. (Fox Lake IL) Pennington David W. (Fox Lake IL), Pulsed thermal flow sensor system.
  8. Renken, Wayne G.; LeMay, Dan B., Thermal mass flow meter.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Radhakrishnan, Praveen Kumar; Faralli, Dino, Electronic device with integrated temperature sensor and manufacturing method thereof.
  2. Huang, Liji; Xuan, Jialuo Jack; Chen, Chih-Chang, Integrated micromachined wind and gas velocity profiler.
  3. Speldrich, Jamie W., MEMS structure for flow sensor.
  4. Mayer, Felix; Haeberli, Andreas Martin, Method and device for measuring the flow of a fluid.
  5. Yao, Yahong; Chen, Chih-Chang; Wang, Gafeng; Huang, Liji, Method of manufacturing a flow rate sensor.
  6. Tai, Yu Chong; Xie, Jun; Shih, Chi yuan; He, Qing, On-chip temperature controlled liquid chromatography methods and devices.
  7. Speldrich, Jamie W.; Beck, Scott E.; Gehman, Richard W.; Murray, Martin G.; Bonne, Ulrich, Thermal liquid flow sensor and method of forming same.
  8. Prak, Albert; van den Vlekkert, Hendrik Harmen, Universal interface for a micro-fluidic chip.
  9. Prak, Albert; van den Vlekkert, Hendrik Harmen, Universal interface for a micro-fluidic chip.
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