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IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B05B-009/03
  • B05B-012/08
  • B05C-011/00
  • G05D-007/00
  • F16K-031/12
출원번호 US-0991392 (2001-11-16)
발명자 / 주소
  • McLoughlin, Robert F.
  • Gonnella, George L.
출원인 / 주소
  • Mykrolis Corporation
대리인 / 주소
    Nields & Lemack
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 16

초록

A control system for digitally monitoring and/or controlling pressure to a pneumatic load such as a stop/suckback valve. Pressure is sensed in the pneumatic fluid input lines to the pneumatic load, and a closed loop control is used to maintain the pressure at a predetermined level. In an alternative

대표청구항

A control system for digitally monitoring and/or controlling pressure to a pneumatic load such as a stop/suckback valve. Pressure is sensed in the pneumatic fluid input lines to the pneumatic load, and a closed loop control is used to maintain the pressure at a predetermined level. In an alternative

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Yabe Manabu (Kyoto JPX) Kitagawa Masaru (Kyoto JPX) Ohki Takafumi (Kyoto JPX) Fujita Mitsuhiro (Kyoto JPX), Apparatus for delivering a silica film forming solution.
  2. Crafts Douglas E. (San Jose CA) Leonov Mark A. (Santa Clara CA), Apparatus for delivery of a liquid.
  3. Akimoto Masami,JPX, Coating apparatus.
  4. Baumann Hans D., Control valve positioners having improved operating characteristics.
  5. Bailey David C. (San Jose CA) Martin Carl A. (San Jose CA), Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir.
  6. Castle Jonathan (Los Angeles CA) Badgen Albert L. (Northridge CA), Electro-pneumatic control system and PID control circuit.
  7. Bailey David C. (San Jose CA) Raphael Ian R. (Campbell CA), Filtering and dispensing system.
  8. Snodgrass Ocie T. (Garland TX) Farney Michael K. (Perryton TX) Gibson Gregory M. (Dallas TX), Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series.
  9. Robert F. McLoughlin ; George L. Gonnella ; Timothy J. King, Flow controller.
  10. Snodgrass Ocie T. (Garland TX) Farney Michael K. (Irving TX) Gibson Gregory M. (Dallas TX), Fluid dispensing system.
  11. Wong Thomas Y. (Schenectady NY), Fluid flow control system.
  12. Fujita Kazuhiko,JPX, Liquid coating device.
  13. Wang Wen-Shyan,TWX ; Lu Shih-Hung,TWX, Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line.
  14. Takagi Motoshi,JPX ; Nishioka Tadashi,JPX, Photoresist coating apparatus.
  15. Amada Haruo (Kamisato JPX) Kojima Akihiro (Kasugai JPX) Kagohashi Hiroshi (Kasugai JPX) Sakai Atsuyuki (Nagoya JPX) Shimura Katsumasa (Nagoya JPX) Maekawa Hisamitsu (Kasugai JPX), Spin coating apparatus.
  16. Lenz Gary A. (Eden Prairie MN) Brown Gregory C. (Minnetonka MN) Warrior Jogesh (Chanhassen MN), Valve positioner with pressure feedback, dynamic correction and diagnostics.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Kim, Jang Seok, Apparatus for monitoring discharge of photoresist.
  2. Kelekar, Rajesh, Calibration of a chemical dispense system.
  3. Finkbeiner, Neil Robert, Fuel control system for gas turbine and feed forward control method.
  4. Hiranaga, Hajime; Tsuzuki, Shuichi; Hoshino, Tatsuya, Liquids dispensing systems and methods.
  5. McMichael, Jonathan R.; Vo, Thomas V., Method and apparatus for dispensing fluid.
  6. Childers, Priscilla; Disch, Mark; Newton, III, Curtis; Ball, Jr., David Wesley; Whaling, Kenneth Neil; Truesdale, Alan Meier, Method and system for controlling a set point for extracting air from a compressor to provide turbine cooling air in a gas turbine.
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