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Method of fabricating micromachined ink feed channels for an inkjet printhead 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-002/01
출원번호 US-0755837 (2001-01-03)
발명자 / 주소
  • Milligan, Donald J.
  • Chen, Chien-Hua
출원인 / 주소
  • Hewlett-Packard Company
인용정보 피인용 횟수 : 21  인용 특허 : 6

초록

An inkjet print cartridge comprising a printhead that is formed using a sequence of etch process steps is described. The first etch of the two etch step process is comprised of a wet chemical etch. A dry etch process follows. Both etch steps are consecutively initiated from the back of the wafer. Th

대표청구항

An inkjet print cartridge comprising a printhead that is formed using a sequence of etch process steps is described. The first etch of the two etch step process is comprised of a wet chemical etch. A dry etch process follows. Both etch steps are consecutively initiated from the back of the wafer. Th

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Taub Howard H. (San Jose CA) Gallicano Joan P. (Fremont CA), Anisotropically etched ink fill slots in silicon.
  2. Baughman Kit C. (Corvallis OR) Kahn Jeffrey A. (Corvallis OR) McClelland Paul H. (Monmouth OR) Trueba Kenneth E. (Corvallis OR) Tappon Ellen R. (Corvallis OR), Fabrication of ink fill slots in thermal ink-jet printheads utilizing chemical micromachining.
  3. Baughman Kit C. (Corvallis OR) Kahn Jeffrey A. (Corvallis OR) McClelland Paul H. (Monmouth OR) Trueba Kenneth E. (Corvallis OR) Tappon Ellen R. (Corvallis OR), Fabrication of ink fill slots in thermal ink-jet printheads utilizing chemical micromachining.
  4. Kawamura Naoto, Forming refill for monolithic inkjet printhead.
  5. Tsung Pan Alfred I. (Mountain View CA), Monolithic thermal ink jet printhead with integral nozzle and ink feed.
  6. Wang Chieh-Wen,TWX ; Wu Yi-Yung,TWX ; Hu Hung-Lieh,TWX ; Lee Ming-Ling,TWX, Structure and fabricating method for ink-jet printhead chip.

이 특허를 인용한 특허 (21)

  1. Maloney,John M.; Sbiaa,Zouhair; Santini, Jr.,John T.; Sheppard, Jr.,Norman F.; Uhland,Scott A., Fabrication methods and structures for micro-reservoir devices.
  2. Lo,Kevin; Cheney,Lynn, Ink over-spray containment apparatus and method.
  3. Shin, Jong-Cheol; Yoon, Kwang-Joon; Park, Sung-Joon, Inkjet printer head and method of fabricating the same.
  4. Pan, Alfred I-Tsung; Torniainen, Erik, Inkjet printhead and method employing central ink feed channel.
  5. Pan, Alfred I-Tsung; Vandenberghe, Kenneth; Lazaroff, Dennis, Inkjet printhead bridge beam fabrication method.
  6. Saito, Akiko; Sakurai, Masataka, Inkjet printing head substrate, inkjet printing head and inkjet printing apparatus.
  7. Kubota, Masahiko; Kanri, Ryoji; Okano, Akihiko; Hiramoto, Atsushi; Sakurai, Masataka; Fukumoto, Yoshiyuki, Liquid ejecting head and method for producing the same.
  8. Kubota, Masahiko; Tsuchii, Ken; Sakurai, Masataka; Nakagawa, Yoshiyuki; Saito, Akiko; Kishikawa, Shinji; Kanri, Ryoji; Terasaki, Atsunori; Okano, Akihiko; Hiramoto, Atsushi, Liquid ejection head and method of manufacturing same.
  9. Gormley, Colin Stephen, Method for etching a tapered bore in a silicon substrate, and a semiconductor wafer comprising the substrate.
  10. Kubota, Masahiko; Okano, Akihiko, Method for manufacturing liquid discharge head.
  11. Watanabe, Masahisa; Hayakawa, Kazuhiro; Sakai, Toshiyasu, Method of manufacturing liquid ejection head and method of processing substrate.
  12. Uyama, Masaya, Method of manufacturing liquid ejection head substrate.
  13. Hostetler, Timothy S., Methods of fabricating fluid ejection devices.
  14. Martin, David; Philliber, Joel; Choy, John, Micromachined horn.
  15. Martin, David; Philliber, Joel; Choy, John, Micromachined horn.
  16. Anderson,Frank Edward; Buchanan,Jeffery James; Droege,Curtis Ray; Greer,David Emerson; Kwan,Kin Ming; Long,Gregory Alan; Phatak,Ganesh Vinayak; Spivey,Paul Timothy; Sullivan,Carl Edmond; Ubellacker,Kent Lee; Waldeck,Melissa Marie, Multi-fluid ejection device.
  17. Hiramoto, Atsushi; Kubota, Masahiko; Kanri, Ryoji; Okano, Akihiko; Fukumoto, Yoshiyuki; Terasaki, Atsunori, Processing method of silicon substrate and liquid ejection head manufacturing method.
  18. Hayakawa,Yukihiro; Momma,Genzo; Kamiichi,Masato, Structure with through hole, production method thereof, and liquid discharge head.
  19. Hayakawa,Yukihiro; Monma,Genzo; Kamiichi,Masato, Structure with through hole, production method thereof, and liquid discharge head.
  20. Minami, Seiko, Substrate processing method and method for manufacturing liquid ejection head.
  21. Andrews, John R.; Stephens, Terrance L.; Cardenas, Ruander, Subtractive three dimensional fabrication of an inkjet plate.

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