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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0372849 (1999-08-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 30 |
A system for heating solvents in processing semiconductor wafers has a coiled solvent tube, a coiled cooling water tube, and electric heater elements, cast in place within an aluminum casting. The solvent flows through the solvent tube and is heated by conduction of heat through the casting. The sol
1. A machine for processing semiconductor wafers, comprising: a combustible solvent supply; a cooling water supply; a processing chamber; a solvent heater including a solvent coil within the metal block, the solvent coil connecting with the solvent supply and the processing chamber; a cooling
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