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Substrate transport apparatus with coaxial drive shafts and dual independent scara arms 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25J-018/02
출원번호 US-0072097 (1998-05-04)
발명자 / 주소
  • Beaulieu, David R.
출원인 / 주소
  • Brooks Automation Inc.
대리인 / 주소
    Perman & Green, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 30  인용 특허 : 14

초록 ▼

A substrate transport apparatus having a drive section and a movable arm assembly connected to the drive section. The drive section has a coaxial drive shaft assembly with independently rotatable drive shafts. The movable arm assembly has two scara arms. Each scara arm has an inner arm connected to

대표청구항 ▼

A substrate transport apparatus having a drive section and a movable arm assembly connected to the drive section. The drive section has a coaxial drive shaft assembly with independently rotatable drive shafts. The movable arm assembly has two scara arms. Each scara arm has an inner arm connected to

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Davis James C. (Carlisle MA), Articulated arm transfer device.
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  2. Eastman Richard H. (Needham MA) Davis ; Jr. James C. (Carlisle MA), Articulated arm transfer device.
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  3. Hendrickson Ruth A. (Lincoln MA), Articulated arm transfer device.
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  4. Shiraiwa Hirotsugu (Hino JPX), Conveyor apparatus.
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  5. Hashimoto Taisaku (Kashiwara JPX), Magnetic drive device.
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  6. Maydan Dan (Los Altos Hills CA) Somekh Sasson (Redwood City CA) Wang David N. (Cupertino CA) Cheng David (San Jose CA) Toshima Masato (San Jose CA) Harari Isaac (Mountain View CA) Hoppe Peter D. (Sun, Multi-chamber integrated process system.
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  7. Uehara Akira (Kanagawa JPX) Hijikata Isamu (Kanagawa JPX) Minato Mitsuaki (Kanagawa JPX), Object handling devices.
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  8. Grunes Howard (Santa Cruz CA) Tepman Avi (Cupertino CA) Lowrance Robert (Los Gatos CA), Robot assembly.
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  9. Poduje Noel S. (Needham Heights MA) Mallory Roy S. (Bedford MA), Robot prealigner.
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  10. Tepolt Gary B., Robotic wafer handler.
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  11. Ishida Toshimichi (Hirakata JPX) Suzuki Masaki (Hirakata JPX), Substrate transfer apparatus.
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  12. Davis ; Jr. James C. (Carlisle MA) Hofmeister Christopher A. (Hampstead NH), Substrate transport apparatus with dual substrate holders.
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  13. Mizukami Masami (Yamanashi JPX) Osada Hatsuo (Yamanashi JPX), Transfer apparatus.
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  14. Hertel Richard J. (Bradford MA) Delforge Adrian C. (Rockport MA) Mears Eric L. (Rockport MA) MacIntosh Edward D. (Gloucester MA) Jennings Robert E. (Nethuen MA) Bhargava Akhil (Reading MA), Wafer transfer system.
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이 특허를 인용한 특허 (30)

  1. Zuniga, Steven M.; Chen, Chih Hung; Gurusamy, Jay, Chemical mechanical polisher with hub arms mounted.
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  2. Frey, Charles M., Component delivery system utilizing film bags.
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  3. Kremerman, Izya, Dual arm robot.
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  4. Kremerman, Izya, Dual arm robot.
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  5. Kremerman, Izya, Dual arm robot.
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  6. Meulen, Peter van der, Linear semiconductor processing facilities.
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  7. van der Meulen, Peter, Linear semiconductor processing facilities.
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  8. Mitchell, Robert J. C.; Relleen, Keith D.; Ruffell, John, Method and apparatus for processing wafers.
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  9. Cameron,James A.; Reyling,Steven G., Method of removing substrates from a storage site and a multiple substrate batch loader.
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  10. Kalenian, William J.; Walsh, Thomas A.; Halley, Dave, Method, apparatus and system for use in processing wafers.
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  11. Kalenian, William J.; Walsh, Tom; Halley, Dave, Method, apparatus and system for use in processing wafers.
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  12. Kalenian,William J.; Walsh,Tom, Method, apparatus and system for use in processing wafers.
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  13. van der Meulen, Peter, Mid-entry load lock for semiconductor handling system.
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  14. Hosek, Martin; Hofmeister, Christopher, Robot having arm with unequal link lengths.
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  15. Hosek, Martin; Hofmeister, Christopher, Robot having arm with unequal link lengths.
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  16. Hosek, Martin; Hofmeister, Christopher, Robot having arm with unequal link lengths and non-circular pulley.
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  17. Hosek, Martin, Robot having two arms with unequal link lengths.
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  18. Caunter, Nicholas J.; Wamsley, Richard D.; Krieg, Kevin, Rotary blade device for printed products.
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  19. van der Meulen, Peter, Semiconductor manufacturing systems.
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  20. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling and transport.
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  21. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling and transport.
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  22. van der Meulen, Peter; Kiley, Christopher C.; Pannese, Patrick D.; Ritter, Raymond S.; Schaefer, Thomas A., Semiconductor wafer handling transport.
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  23. Caveney, Robert T.; Krishnasamy, Jayaraman; Gilchrist, Ulysses; Drew, Mitchell; Moura, Jairo T., Substrate processing apparatus.
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  24. Gilchrist, Ulysses; Caveney, Robert T.; Krishnasamy, Jayaraman; Drew, Mitchell; Moura, Jairo T., Substrate processing apparatus.
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  25. Gilchrist, Ulysses; Caveney, Robert T.; Krishnasamy, Jayaraman; Drew, Mitchell; Moura, Jairo T., Substrate processing apparatus.
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  26. Duhamel, Michael; Pickreign, Richard J., Substrate transport apparatus with active edge gripper.
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  27. Duhamel, Michael; Pickreign, Richard J., Substrate transport apparatus with active edge gripper.
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  28. Duhamel, Michael; Pickreign, Richard J., Substrate transport apparatus with active edge gripper.
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  29. Hosek, Martin; Gilchrist, Ulysses, Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms.
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  30. Kinnard, David William; Richardson, Daniel, Wafer transport apparatus.
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