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Clean box, clean transfer method and apparatus therefor

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01L-001/04
출원번호 US-0294007 (1999-04-19)
발명자 / 주소
  • Miyajima, Toshihiko
출원인 / 주소
  • TDK Corporation
대리인 / 주소
    Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 15

초록

Using a clean box 30 which includes a box body 31 having an annular groove 33 for suction surrounding a side aperture 32 and an intake/exhaust port 34 in communication therewith, a side lid 35 for closing the aperture 32 while being sucked by a pressure difference between inside and outside a space

대표청구항

Using a clean box 30 which includes a box body 31 having an annular groove 33 for suction surrounding a side aperture 32 and an intake/exhaust port 34 in communication therewith, a side lid 35 for closing the aperture 32 while being sucked by a pressure difference between inside and outside a space

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Takahashi Tetsuo (Akita JPX) Miyauchi Eisaku (Akita JPX) Miyajima Toshihiko (Saku JPX) Watanabe Hideaki (Akita JPX), Apparatus for clean transfer of objects.
  2. Ono Takatoshi (Nagareyama JPX), Article holding apparatus and its use.
  3. Stock James H. (30805 Old Plank Rd. Wixom MI 48096), Clean box.
  4. Rune Gordon H. (Mundelein IL) Wojtysiak Bruce A. (Grandwood Park IL), Clean box with sliding arms.
  5. Masujima Sho,JPX ; Miyauchi Eisaku,JPX ; Miyajima Toshihiko,JPX ; Watanabe Hideaki,JPX, Clean transfer method and apparatus therefor.
  6. Takahashi Tetsuo (Akita JPX) Miyauchi Eisaku (Akita JPX) Miyajima Toshihiko (Saku JPX), Clean transfer method and system therefor.
  7. Stocchiero Olimpio (5 Via Kennedy 36050 Montorso Vicentino (VI) ITX), Container lid with sealing device.
  8. Muka Richard S. (Topsfield MA), Door drive mechanisms for substrate carrier and load lock.
  9. Holliday James E. (75 “E.”Watchhill Dr. Colorado Springs CO 80906) Gallagher Gary M. (440F Autumn Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906), Enclosed sealable purgible semiconductor wafer holder.
  10. Laws William R. (Worcester Park GB2) Reed Geoffrey R. (Shepperton GB2), Material separation.
  11. Millis Edwin G. (Dallas TX) Bimer Thomas C. (Albuquerque NM) Lewis Alton D. (Garland TX), Semiconductor slice cassette transport unit.
  12. Iwai Hiroyuki (Sagamihara JPX) Tanifuji Tamotsu (Yamato JPX) Asano Takanobu (Yokohama JPX) Okura Ryoichi (Kanagawa-ken JPX), Treatment apparatus.
  13. Miyajima Toshihiko,JPX, Vacuum clean box, clean transfer method and apparatus therefor.
  14. Takeuchi Noriyuki (Fujisawa JPX) Kajiyama Masaaki (Fujisawa JPX) Kondo Fumio (Fujisawa JPX) Matsumura Masao (Fujisawa JPX) Yoshioka Takeshi (Fujisawa JPX), Vacuum processing system.
  15. Justesen Jeffrey L. (219 Woodland Ave. Bloomfield CT 06002), Vacuum seal container.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu, Clean box, clean transfer method and system.
  2. Oyama, Katsuhiko; Takeuchi, Yasushi, Cover opening/closing apparatus, thermal processing apparatus using the same, and cover opening/closing method.
  3. Emoto, Jun; Iwamoto, Tadamasa, Gas purge apparatus, load port apparatus, installation stand for purging container, and gas purge method.
  4. Yoshimura, Takehiko; Nagata, Tatsuhiko; Seki, Masaru; Cho, Yoshinori, Load port.
  5. Bernard, Roland, Semiconductor component manufacturing plant with ventilated false floor.
  6. Barrows, John F., Transfer port for movement of materials between clean rooms.
  7. Estes, Andrew C.; Stobaugh, Kyle A.; Moody, Mark A.; Estes, Jeremy B.; Balaster, Ray W.; Danzy, Kurt R., Vacuum transfer apparatus having load isolation weighing system including a rigid pipe section pivotally mounted to a support frame.
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