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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0702523 (2000-10-31) |
우선권정보 | KR-0050599 (1999-11-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 5 |
A spinner apparatus for manufacturing a photomask, performing a developing process for forming a resist pattern on a specific substrate, and performing an etching process in which a resist pattern is used as an etching mask are provided. A plurality of supply nozzles for supplying a developing solut
1. A method for forming a pattern, comprising: sequentially forming an etched material layer to be etched and a pattern forming material layer on a substrate; performing an exposing process to define a pattern on the pattern forming material layer; loading the substrate on a rotating member in
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