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Heat shield assembly for crystal puller

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-015/20
출원번호 US-0815508 (2001-03-23)
발명자 / 주소
  • Ferry, Lee W.
  • Schrenker, Richard G.
  • Banan, Mohsen
출원인 / 주소
  • MEMC Electronic Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Senniger, Powers, Leavitt & Roedel
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 8

초록

A heat shield assembly for use in a crystal puller has an outer reflector interposed between the ingot and the crucible as the ingot is pulled from the molten source material. A cooling shield is interposed between the ingot and the outer reflector whereby the cooling shield is exposed to heat radia

대표청구항

A heat shield assembly for use in a crystal puller has an outer reflector interposed between the ingot and the crucible as the ingot is pulled from the molten source material. A cooling shield is interposed between the ingot and the outer reflector whereby the cooling shield is exposed to heat radia

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Wijaranakula Witawat ; Tamura Akihiko, Apparatus for improving mechanical strength of the neck section of czochralski silicon crystal.
  2. Von Ammon Wilfried (Burghausen DEX) Dornberger Erich (Burghausen DEX) Weidner Herber (Haiming DEX) Pardubitzki Alfred (Burghausen DEX), Apparatus for producing a single crystal.
  3. Tomioka Junsuke (Hiratsuka JPX) Nagai Kazunori (Miyazaki JPX) Matsuzaki Akihiro (Hiratsuka JPX), Apparatus for pulling up a single crystal.
  4. Kotooka Toshirou,JPX ; Shimanuki Yoshiyuki,JPX ; Kamogawa Makoto,JPX, Device for manufacturing single crystals.
  5. Ferry Lee ; Ishii Yasuhiro, Heat shield assembly for crystal puller.
  6. Kotooka Toshiro,JPX ; Shimanuki Yoshiyuki,JPX ; Kamogawa Makoto,JPX, Method and device for manufacturing single crystals.
  7. Jae-gun Park KR, Pulling methods for manufacturing monocrystalline silicone ingots by controlling temperature at the center and edge of an ingot-melt interface.
  8. Tomioka Junsuke (Hiratsuka JPX) Nagai Kazunori (Miyasaki JPX) Matsuzaki Akihiro (Hiratsuka JPX), Single crystal pulling apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Park, Bong Mo; Choi, Ill Soo, Coating material for absorbing radiant heat, manufacturing method thereof.
  2. Kubo, Takayuki; Kawahigashi, Fumio; Asano, Hiroshi; Takaoka, Naohiro, Crystal growth apparatus.
  3. Cherko, Carl F.; Cook, Robert D., Fluid sealing system for a crystal puller.
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