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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0745918 (2000-12-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 16 |
A method and apparatus for modifying the profile of narrow, high-aspect-ratio gaps on a semiconductor substrate are used to fill the gaps in a void-free manner. Differential heating characteristics of a substrate in a high-density plasma chemical vapor deposition (HDP-CVD) system helps to prevent th
1. A method for forming a layer on a process wafer in a chamber during a high-density plasma chemical vapor deposition (HDP-CVD) process, said method comprising steps of: (a) flowing a process gas suitable for forming a plasma into the chamber to form a layer on a front side of the process wafer;
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