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Micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G02B-006/42
출원번호 US-0844574 (2001-04-30)
발명자 / 주소
  • Chen, Jingkuang
  • Kubby, Joel A.
  • Sun, Decai
출원인 / 주소
  • Xerox Corporation
대리인 / 주소
    Henn, David E.
인용정보 피인용 횟수 : 39  인용 특허 : 13

초록

A MEMS-based adjustable mirror module allows faster, lower cost, and easier alignment of optical fibers in substrates. Movable mirrors formed on the substrate allow adjustment of the light path after the optical fiber is attached, after which the mirrors are affixed in place to prevent misalignment.

대표청구항 ▼

A MEMS-based adjustable mirror module allows faster, lower cost, and easier alignment of optical fibers in substrates. Movable mirrors formed on the substrate allow adjustment of the light path after the optical fiber is attached, after which the mirrors are affixed in place to prevent misalignment.

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Dennis Stanley Greywall, Article comprising an optical cavity.
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  2. Zhou Ping, Fiber optic header for an edge emitting laser.
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  3. Tran Dean ; Anderson Eric R. ; Strijek Ronald L. ; Rezek Edward A., Fiber/waveguide-mirror-lens alignment device.
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  4. Buchin Michael P. (723 Southampton Dr. Palo Alto CA 94303), High-speed electro-optical modulator, chopper, and multiplexer/demultiplexer.
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  5. Smith Thomas W. ; Andrews John R. ; Drews Reinhold E., Ink jet printheads.
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  6. Tabuchi Haruhiko,JPX, Integrated semiconductor optical devices and method of manufacture employing substrate having alignment groove.
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  7. Kase Toshiyuki,JPX ; Nishikawa Hiroshi,JPX, Method of adjusting beam axis of optical pick-up.
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  8. Sato Natsuki (Tokyo JPX), Method of fabricating semiconductor device having a trenched cell capacitor.
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  9. Lee Abraham P. ; Pocha Michael D. ; McConaghy Charles F. ; Deri Robert J., Micro benchtop optics by bulk silicon micromachining.
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  10. Evans Robert F. (Newbury Park CA), Optical fibers connector.
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  11. Heanue John F. ; Jerman John H., Optical microswitch with rotary electrostatic microactuator.
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  12. Laor Herzel, Optical switch pathway configuration using control signals.
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  13. Seungug Koh, Reconfigurable and scalable intergrated optic waveguide add/drop multiplexing element using micro-opto-electro-mechanical systems and methods of fabricating thereof.
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이 특허를 인용한 특허 (39)

  1. Goodall,Eleanor V.; Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Wood, Jr.,Lowell L., Adjustable lens system with neural-based control.
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  2. Goodall,Eleanor V.; Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Wood, Jr.,Lowell L., Adjustable lens system with neural-based control.
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  3. Yu, Fei; Deng, Qi, Apparatus and method for optical communications.
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  4. Arneson, Michael; Bandy, William R.; Powell, Kevin J.; Salsman, Kenneth E.; Tirpack, Devon, Displaying image data from a scanner capsule.
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  5. Arneson, Michael; Bandy, William R.; Powell, Kevin J.; Salsman, Kenneth E.; Tirpack, Devon, Displaying image data from a scanner capsule.
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  6. Arneson, Michael; Bandy, William R.; Powell, Kevin J.; Salsman, Kenneth E.; Tirpack, Devon, Displaying image data from a scanner capsule.
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  7. Arneson, Michael; Brandy, William R.; Powell, Kevin J.; Salsman, Kenneth E.; Tirpack, Devon, Displaying image data from a scanner capsule.
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  8. Pelley, Perry H.; Pessoa, Lucio F. C., Free-space optical communication system.
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  9. Bandy, William Robert; Jamieson, Brian Glenn; Powell, Kevin James; Salsman, Kenneth Edward; Schober, Robert Charles; Weitzner, John; Arneson, Michael R., Ingestible endoscopic optical scanning device.
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  10. Bandy, William Robert; Jamieson, Brian Glenn; Powell, Kevin James; Salsman, Kenneth Edward; Schober, Robert Charles; Weitzner, John; Arneson, Michael R., Ingestible endoscopic optical scanning device.
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  11. Gore, Makarand; Guo, James, Integrated circuit device including a bifunctional core material in a chamber.
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  12. Yasumura, Kevin Y.; Verslegers, Lieven; Berger, Jill D., MEMS steering mirrors for applications in photonic integrated circuits.
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  13. Goodall, Eleanor V.; Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Wood, Jr., Lowell L., Method and system for adaptive vision modification.
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  14. Goodall, Eleanor V.; Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Wood, Jr., Lowell L., Method and system for adaptive vision modification.
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  15. Goodall,Eleanor V.; Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Wood, Jr.,Lowell L., Method and system for adaptive vision modification.
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  16. Goodall,Eleanor V.; Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Wood, Jr.,Lowell L., Method and system for vision enhancement.
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  17. Gore,Makarand; Guo,James, Method for forming a chamber in an electronic device and device formed thereby.
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  18. Bandy, William Robert; Davenport, Roger Allen; Okunev, Yuri, Methods and systems for acoustic data transmission.
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  19. Lin,Pinyen; Kubby,Joel A.; Wang,Yao Rong, Microfabrication process for control of waveguide gap size.
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  20. Pelley, Perry H.; Hartman, Dennis C., Optical communication integration.
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  21. Katayama, Makoto; Kanie, Tomohiko; Suganuma, Hiroshi; Nishimura, Masayuki, Optical variable attenuator and optical module.
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  22. Stevens,Rick C., Post-packaging optical coupling.
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  23. Bieck, Dipl.-Ing. Florian; Leib, Jürgen, Process for making contact with and housing integrated circuits.
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  24. Bieck, Dipl.-Ing. Florian; Leib, Jürgen, Process for making contact with and housing integrated circuits.
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  25. Bieck, Florian; Leib, Jürgen, Process for making contact with and housing integrated circuits.
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  26. Bieck, Florian; Leib, Jürgen, Process for making contact with and housing integrated circuits.
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  27. Leib, J?rgen; Bieck, Florian, Process for producing microelectromechanical components and a housed microelectromechanical component.
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  28. Strabley, Jennifer S.; Sanders, Glen A.; Detry, James F.; Bauhahn, Paul Eugene, System and method for fiber based resonator coupling.
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  29. Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Tegreene,Clarence T.; Wood, Jr.,Lowell L., Temporal vision modification.
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  30. Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Tegreene,Clarence T.; Wood, Jr.,Lowell L., Temporal vision modification.
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  31. Arneson, Michael; Bandy, William; Shanks, Wayne, Ultrasound scanning capsule endoscope (USCE).
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  32. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  33. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  34. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  35. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  36. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  37. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K. Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  38. Hillis, W. Daniel; Hyde, Roderick A.; Ishikawa, Muriel Y.; Jung, Edward K.Y.; Myhrvold, Nathan P.; Tegreene, Clarence T.; Wood, Jr., Lowell L., Vision modification with reflected image.
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  39. Hillis,W. Daniel; Hyde,Roderick A.; Ishikawa,Muriel Y.; Jung,Edward K. Y.; Myhrvold,Nathan P.; Tegreene,Clarence T.; Wood, Jr.,Lowell L., Vision modification with reflected image.
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